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일정 간격 이격되어 배치되는 기준 전극, 작업 전극 및 보조 전극을 포함하는 감지부; 상기 감지부의 각 전극과 전기적으로 연결되는 전극 패드들을 구비하는 패드부; 및 상기 감지부의 각 전극들과 각각의 패드들을 연결하는 연결부를 포함하며, 상기 감지부의 전극들은 일렬로 배열되고, 상기 감지부, 패드부 및 연결부 일자 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 기준 전극 상부에는 도전막이 도금되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제 2 항에 있어서, 상기 도전막은 은/염화은(Ag/AgCl)막 또는 이리듐 옥사이드인 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 작업 전극 상부에는 효소막 또는 내부막과 효소막의 적층막이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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다수의 전극을 포함하는 감지부, 다수의 패드를 가지며 감지부에 소정의 전원을 공급하는 패드부, 및 상기 감지부와 패드부 사이를 연결하는 연결부를 포함하는 일자형의 단위 바이오 센서들이 중심을 기준으로 하여 방사상으로 일정 간격을 두고 배열되고, 상기 중심부에는 감지부가 위치되도록 배열되며, 상기 동일한 전압이 인가되는 각 패드부의 패드들은 모두 전기 배선에 의하여 묶여있는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 어레이
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다수의 바이오 센서를 제조하는 방법으로, 기판상에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 상부에 하부 절연막을 형성하는 단계; 상기 하부 절연막 상에 다수의 전극 및 패드들을 형성하는 단계; 상기 전극 및 패드들이 형성된 하부 절연막 상부에 상부 절연막을 형성하는 단계; 상기 상부 절연막 상부에 하드 마스크막을 형성하는 단계; 상기 전극 및 패드들이 노출되도록 하드 마스크막 및 상부 절연막을 소정 부분 식각하는 단계; 상기 하드 마스크막을 제거하고, 상기 희생층을 제거하여, 상기 기판을 하부 절연막으로부터 분리하는 단계; 상기 노출된 전극 상부에 선택적으로 효소막(또는 효소막과 고분자막) 혹은 도금막을 형성하는 단계; 상기 결과물 상부에 외부막을 피복하는 단계; 및 상기 외부막, 상부 절연막 및 하부 절연막의 소정 부분을 식각하여, 개별 바이오 센서별로 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 바이오 센서를 제조하는 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 하부 절연막은 폴리머막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 다수의 바이오 센서를 제조하는 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 하드 마스크막은 상기 상부 절연막과는 식각 선택비가 상이하고, 상기 희생층과는 식각 선택비가 동일한 것을 특징으로 하는 다수의 바이오 센서를 제조하는 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 개별 바이오 센서의 전극은 각각 기준 전극, 작업 전극 및 보조 전극을 포함하고, 상기 기준 전극 상에 상기 도금막을 선택적으로 형성하고, 상기 작업 전극 상에 상기 효소막(또는 내부막 및 효소막)을 선택적으로 형성하는 것을 특징으로 하는 다수의 바이오 센서를 제조하는 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 도금막 및 효소막을 선택적으로 형성하는 방법은, 바이오 센서 어레이를 고정하는 홈부를 갖는 하판과, 상기 바이오 센서 어레이의 각 전극에 유체를 공급하는 개구를 가지며 상기 바이오 센서의 각 전극에 전극을 인가하기 위한 배선부를 포함하는 상판으로 구성되는 유로형 다중 전기 화학적 시스템에서 형성하는 것을 특징으로 하는 다수의 바이오 센서를 제조하는 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 개별의 바이오 센서 별로 분리하는 단계는, 레이저 절제 방법, 플라즈마 식각 방법 또는 절단 가공 방법으로 진행하는 것을 특징으로 하는 다수의 바이오 센서를 제조하는 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 개별의 바이오 센서 별로 분리하는 단계는, 레이저 절제 방법, 플라즈마 식각 방법 또는 절단 가공 방법으로 진행하는 것을 특징으로 하는 다수의 바이오 센서를 제조하는 방법
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