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상부 기판 및 하부 기판이 결합되어 유체를 제어하고 반응시키는 미세유체소자에 있어서, 상기 하부 기판은, 제1 유체 및 제2 유체가 각각 저장되는 제1 저장 챔버 및 제2 저장 챔버; 상기 제1 저장 챔버 및 제2 저장 챔버와 연결되는 적어도 하나의 감지 챔버; 상기 제1 유체 또는 제2 유체의 이동을 정지시키는 제1 유동 정지부 및 제2 유동 정지부; 상기 제1 유체 또는 제2 유체의 이동 속도를 감소시키는 유동 지연부; 반응이 완료된 상기 제1 유체 또는 제2 유체가 폐기되는 폐기 챔버; 및 유체가 이동되도록 상기 유동 지연부와 폐기 챔버 사이를 연결하는 유로를 포함하고, 상기 상부 기판은 상기 감지 챔버 내의 생화학반응을 측정하는 적어도 하나의 감지부를 포함하며, 상기 제1 유체가 모세관 힘에 의해 상기 감지 챔버로 이동하여 1차 생화학 반응이 일어나고, 소정 시간 경과 후 제2 유체가 모세관 힘에 의해 상기 감지 챔버로 유입되면 상기 제1 유체의 교체 및 2 차 생화학반응이 일어나는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 하부 기판은 상기 제1 저장 챔버와 감지 챔버 사이에 격리턱 및 감지 챔버 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제2 항에 있어서, 상기 격리턱 및 감지챔버 연결부는 각각 채널 높이의 계단형 증가와 채널 폭의 감소를 통하여 표면장력에 의한 유체의 유동이 멈춤없이 지속되도록 하는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 제1 저장 챔버 및 제2 저장 챔버는 각각 제1 유체 및 제2 유체가 주입되는 제1 유체 주입구 및 제2 유체 주입구를 갖는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 제1 저장 챔버 및 제2 저장 챔버는 표면장력에 의해 제1 유체 및 제2 유체가 이동할 수 있도록 이동이 진행되는 방향으로 폭이 좁아지는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 감지부는 상기 감지 챔버에 대응되는 부분에 형성되는 감지 전극; 외부와의 결합을 통해 전기적 신호를 전달하는 전극 패드; 및 상기 감지 전극과 전극 패드 사이를 연결하는 전극 배선을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제6 항에 있어서, 상기 감지 전극에는 단백질 또는 DNA 등의 생화학물질이 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 하부 기판은 상기 제1 저장 챔버와 감지 챔버 사이에 제1 유체에 대한 전처리 생화학반응이 일어나는 반응 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 폐기 챔버는 표면장력을 증가시키기 위해 상기 폐기 챔버 내의 표면적을 증가시키는 구조물을 갖는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 폐기 챔버는 표면장력을 증가시키고 충분한 체적확보를 위해 채널 폭의 점진적 확대 또는 점진적 축소 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 제1 유동 정지부 및 제2 유동 정지부는 채널 폭의 계단형 확대 및 채널 높이의 계단형 증가를 이용하거나 온도에 따른 유체의 표면장력조절을 이용하여 유체의 이동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제11 항에 있어서, 상기 제1 유동 정지부 및 제2 유동 정지부는 서로 다른 유체의 결합을 통해 표면장력 장벽을 소멸함으로써 유동이 재개되는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 있어서, 상기 유동 지연부는 채널의 형상을 변화시키거나, 채널 벽면의 온도를 변화시킴으로써 유체의 표면장력을 변화시키거나, 채널 벽면의 접촉각도 변화를 위해 계면활성제를 첨가하여 유체의 이동 속도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 표면장력으로 제어되는 미세유체소자
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제1 항에 의한 미세유체소자가 복수개 직렬로 배열되는 미세유체소자 직렬 어레이에 있어서, N-1 번째 미세유체소자의 폐기 챔버가 N 번째 미세유체소자의 감지 챔버에 연결되고, 각각의 제2 저장 챔버에 서로 다른 제2 유체가 주입되어 각각의 감지 챔버에서 생화학적 반응이 순차적으로 일어나는 것을 특징으로 하는 미세유체소자 직렬 어레이
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제1 항에 의한 미세유체소자가 복수개 병렬로 배열되는 미세유체소자 병렬 어레이에 있어서, 각각의 감지 챔버는 공통의 제1 저장 챔버와 연결되고, 각각의 제2 저장 챔버에 서로 다른 제2 유체가 주입되어 각각의 감지 챔버에서 생화학적 반응이 동시에 일어나는 것을 특징으로 하는 미세유체소자 병렬 어레이
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제1 항에 의한 미세유체소자가 복수개 병렬로 배열되는 미세유체소자 병렬 어레이에 있어서, 각각의 감지 챔버는 공통의 제1 저장 챔버와 연결되고, 각각의 제2 저장 챔버에 서로 다른 제2 유체가 주입되어 각각의 감지 챔버에서 생화학적 반응이 동시에 일어나는 것을 특징으로 하는 미세유체소자 병렬 어레이
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