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중앙에 개구가 형성된 절연 스페이서들을 마이크로 렌즈 구성 소자들 사이에 두고 상기 마이크로 렌즈 구성 소자와 상기 절연 스페이서를 교호로 접착하는 단계; 및 상기 마이크로 렌즈 구성 소자들의 중앙 부분에 포커스드 이온빔을 이용하여 개구를 형성하는 단계를 포함하되, 상기 개구 형성 단계는 상기 마이크로 렌즈 구성 소자들에 형성될 개구 중 가장 작은 개구를 기준으로 상기 마이크로 렌즈 구성 소자들에 개구를 먼저 형성한 후 상기 포커스드 이온빔으로 상부층의 마이크로 렌즈 구성 소자의 개구들을 재가공하여 서로 다른 크기의 개구를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 제조 방법
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중앙에 개구가 형성된 절연 스페이서들을 마이크로 렌즈 구성 소자들 사이에 두고 상기 마이크로 렌즈 구성 소자와 상기 절연 스페이서를 교호로 접착하는 단계; 및 상기 마이크로 렌즈 구성 소자들의 중앙 부분에 포커스드 이온빔을 이용하여 개구를 형성하는 단계를 포함하되, 상기 개구 형성 단계는 상기 마이크로 렌즈 구성 소자들 중 크기가 큰 개구가 형성되어야 하는 상부층의 마이크로 렌즈 구성 소자들에 상기 포커스드 이온빔으로 개구를 먼저 형성한 후 나머지 하부층의 마이크로 렌즈 구성 소자에 가장 작은 개구를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 제조 방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 가장 작은 개구의 지름은 3um 내지 10um이고, 그 외의 개구의 지름은 5 내지 100um인 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 제조 방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 포커스드 이온빔을 이용한 개구 형성 공정은 10E-8torr 내지 10E-6torr의 압력에서 4pA 내지 19
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제 8 항에 있어서, 상기 포커스드 이온빔을 이용한 개구 형성 공정은 상기 포커스드 이온빔의 지름을 25um 내지 350um로 설정하고, 상기 포커스드 이온빔의 포커싱 사이즈는 지름이 7nm 내지 500nm가 되도록 설정한 상태에서, 가속 에너지로 5 내지 50keV를 인가하면서 실시하는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 제조 방법
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10
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 구성 소자들은 중앙 부분이 소정 두께만큼 식각되어 가장자리보다 얇은 막창이 형성된 상태로 상기 절연 스페이서와 접착되며, 상기 개구는 상기 막창의 중앙에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 제조 방법
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11
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 절연 스페이서에 형성된 개구의 지름은 1mm 내지 3mm인 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 제조 방법
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