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단위 화소들의 어레이 및 상기 단위 화소들 각각에 선택적으로 전압을 인가하기 위한 드라이버 회로부를 구비하여, 단위 화소별로 입사광의 투과도를 조절하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크에 있어서, 상기 단위 화소들 각각은, 입사광의 진행을 방해하고 전기 영동에 의해 이동하는 전하를 띤 입자들을 구비하는 용액; 및 상기 입자들의 배열을 변화시켜 입사광의 투과도를 조절하기 위해서, 상기 입자들에 전압을 인가하기 위한 전극들을 구비하는 것을 특징으로 하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크
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제 1 항에 있어서, 상기 용액은 유체(fluid)와 다수의 전하를 띤 입자(charged particle)로 이루어진 현탁액(suspending fluid)인 것을 특징으로 하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크
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제 2 항에 있어서, 상기 유체는 플로로 카본(fluorocarbon), 클로로 카본(chlorocarbon) 또는 플로로 클로로 카본 (fluorochlorocarbon) 인 것을 특징으로 하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크
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제 2 항에 있어서, 상기 입자는 500~3000 Å 크기의 바륨설페이트, 카오린, 징크옥사이드 또는 TiO2 입자인 것을 특징으로 하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크
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제 1 항에 있어서, 상기 용액에는 분산제가 추가로 포함될 수 있으며, 상기 분산제는 에틸렌 글리콜(Ethylene glycol), 폴리필린 글리콜(polypylene glycol)이 포함가능한 폴리히드록시 혼합물(polyhydroxy compound), 3-아미노-1 프로판올(3-amino-1 propanol), 트리에탄올아민(triethanolamine)이 포함가능한 아미노 알콜 혼합물(amino alcohol compound), 표면 모디파이어(surface modifiers) 또는 전하 제어 에이전트(charge control agents)인 것을 특징으로 하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크
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제 1 항에 있어서, 상기 전하를 띤 입자는 UV 빛을 흡수하거나 반사하여 UV 빛의 통과를 차단하는 것을 특징으로 하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크
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제 1 항에 있어서, 상기 전하를 띤 입자는 상기 전극들의 전압 차이에 의해 선택된 전극에 쌓이게 하며, 상기 입사광의 입사 방향과 수직인 전극에 전하를 띤 입자가 쌓일 때는 입사광이 차단되고, 상기 입사광의 투과 방향과 수평인 전극에 전하를 띤 입자가 쌓일 때는 상기 입사광이 통과되게 하는 것을 특징으로 하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크
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제 1 항에 있어서, 상기 전하를 띤 입자는 상기 전극들의 전압 차이에 의해 선택된 전극에 쌓이게 하며, 상기 입사광의 투과 방향과 수평인 전극에 전하를 띤 입자가 쌓일 때는 상기 입사광이 통과되게 하고, 상기 전극들의 전압차가 없을 때는 랜덤하게 분포하여 입사광을 차단하는 것을 특징으로 하는 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성용 프로그래머블 마스크
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제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 하나의 항에 의한 프로그래머블 마스크를 이용하여 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성방법에 있어서, (a) 표면에 고정되어 있으면서 보호기를 갖는 분자에 상기 프로그래머블 마스크를 이용하여 선택적인 영역에 UV 빛을 조사하는 단계; 및 (b) 상기 분자에 고정을 원하는 생체분자 혹은 고분자 모노머가 들어있는 용액을 흘려주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크를 이용하여 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성방법
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제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 하나의 항에 의한 프로그래머블 마스크를 이용하여 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성방법에 있어서, (a) 표면에 고정되어 있으면서 보호기를 갖는 분자에 상기 프로그래머블 마스크를 이용하여 선택적인 영역에 UV 빛을 조사하는 단계; 및 (b) 상기 분자에 고정을 원하는 생체분자 혹은 고분자 모노머가 들어있는 용액을 흘려주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크를 이용하여 생체 분자 또는 고분자 어레이 형성방법
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