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기판 상에 고분자층을 형성하는 단계와, 상기 고분자층 상부에 다수의 실린더형 홈이 형성된 마스터를 위치시키는 단계와, 상기 고분자층의 유동성이 확보되도록 열처리한 후 상기 마스터와 고분자층을 압착하여 상기 고분자층이 상기 마스터의 홈에 충진되도록 하는 단계와, 상기 마스터의 홈에 충진된 고분자층이 응고되도록 냉각시키는 단계와, 상기 마스터를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 고분자층은 스핀 코팅 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 마스터는 실리콘 또는 실리콘산화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 마스터와 고분자층의 접촉각을 조절하기 위해 상기 마스터의 표면을 화학처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 화학처리는 상기 마스터의 표면을 hydroxylate시키는 단계와, 상기 마스터를 chlorosilanes 수용액에 담가 표면반응에 의해 화학적 성질이 변화되도록 하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 chlorosilane 수용액의 농축량으로 반응량을 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 열처리는 유리의 전이온도 이상의 온도에서 실시하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 마스터와 고분자층은 하기의 수학식 4에 의해 얻어지는 크기의 힘(Fext)으로 압착되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 압착은 핫 엠보싱 장치에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 압착은 핫 엠보싱 장치에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
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