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소자 제조 공정 시 소자가 형성되는 상부 기판을 지지하고 소자 제조 공정 완료 후에 상부 기판으로부터 제거되는 하부 기판과; 상기 하부 기판의 상면에 서로 간에 일정한 간격의 에어 갭을 형성하는 복수의 형상층을 갖도록 패터닝 되어있는 완충층; 및 상기 완충층에 상기 상부 기판을 접착시키는 접착층으로 구성된 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판
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제 1 항에 있어서, 상기 하부 기판은 Si, SiO₂, Al₂O₃, 구리, 구리를 포함하는 합금, 알루미늄, 알루미늄을 포함하는 합금, 유리 중의 어느 하나 또는 두 가지 이상이 혼합된 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판
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제 1 항에 있어서, 상기 완충층은 SiO₂, Al₂O₃, AlON, SiON, Si3N4, AlN, SOG(spin-on-glass), 감광막 재료, Cu, Cu를 포함하는 합금, Al, Al을 포함하는 합금 중 어느 하나 또는 두 가지 이상이 혼합된 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판
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제 1 항에 있어서, 상기 완충층은 일정한 간격의 에어 갭을 형성하면서 라인 모양의 복수의 형상층을 갖거나, 육면체 혹은 원통형의 고립된 섬 모양의 복수의 형상층을 갖도록 패터닝되어 식각되는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판
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제 1항에 있어서, 상기 접착층은 100oC 이상의 고온 공정을 견딜 수 있는 양면 접착테이프, 액상의 접착제, 유기물 막 중 어느 하나를 선택하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판
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제 1 항에 있어서, 상기 상부 기판은 플라스틱, 스텐레스 스틸, 구리, 구리를 포함하는 합금, 알루미늄, 알루미늄을 포함하는 합금, 실리콘, 유리중의 어느 하나를 선택하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판
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하부 기판의 상면 또는 상부 기판의 하면에 일정 간격의 에어 갭과 복수의 형상층으로 구성되는 완충층을 형성하는 단계와; 상기 완충층 상면에 접착층을 형성하는 단계; 및 상기 완충층 상면에 형성된 접착층에 의해 상기 하부 기판과 상부 기판을 접합하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판의 제조 방법
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제 7항에 있어서, 상기 하부 기판의 상면 또는 상부 기판의 하면에 일정 간격의 에어 갭과 복수의 형상층으로 구성되는 완충층을 형성하는 단계는 상기 하부 기판의 상면 또는 상부 기판의 하면에 일정한 두께로 형성된 평탄한 완충층에 패턴을 형성한 후, 식각공정에 의해 일정한 간격의 에어 갭과 복수의 형상층을 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판의 제조 방법
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제 7항에 있어서, 상기 하부 기판의 상면 또는 상부 기판의 하면에 일정 간격의 에어 갭과 복수의 형상층으로 구성되는 완충층을 형성하는 단계는 상기 하부 기판의 상면 또는 상부 기판의 하면에 스크린 프린팅 법, 잉크젯 프린팅 방법을 사용하여 일정한 간격의 에어 갭과 복수의 형상층을 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판의 제조 방법
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제 7항에 있어서, 상기 하부 기판의 상면 또는 상부 기판의 하면에 일정 간격의 에어 갭과 복수의 형상층으로 구성되는 완충층을 형성하는 단계는 SiO₂, Al₂O₃, AlON, SiON, Si3N4, AlN, SOG(spin-on-glass), 감광막 재료, Cu, Cu를 포함하는 합금, Al, Al을 포함하는 합금 중 어느 하나 또는 두 가지 이상이 혼합된 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판의 제조 방법
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제 7항에 있어서, 상기 접착층을 형성하는 단계는 100oC 이상의 고온의 공정에 견딜 수 있는 양면 접착테이프, 액상의 접착제, 유기물 막 중 어느 하나를 선택하여 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판의 제조 방법
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소자 제조 공정 시 소자가 형성되는 상부 기판을 지지하고 소자 제조 공정 완료 후에 상부 기판으로부터 제거되는 하부 기판의 자체 면을 패터닝하고 식각하여 일정 간격의 에어 갭을 형성하는 단계와; 상기 에어 갭이 형성된 상기 하부 기판 상면에 접착층을 형성하는 단계; 및 상기 접착층에 의해 상기 하부 기판과 상부 기판을 접합하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판의 제조 방법
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소자 제조 공정 시 소자가 형성되는 상부 기판을 지지하고 소자 제조 공정 완료 후에 상부 기판으로부터 제거되는 하부 기판의 자체 면을 패터닝하고 식각하여 일정 간격의 에어 갭을 형성하는 단계와; 상기 에어 갭이 형성된 상기 하부 기판 상면에 접착층을 형성하는 단계; 및 상기 접착층에 의해 상기 하부 기판과 상부 기판을 접합하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 구조물이 형성된 기판의 제조 방법
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