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발광 가능한 실리콘 나노점 박막 제조 장치에 있어서,가스 공급관 및 가스 배기구가 형성된 챔버,상기 가스 공급관에 연결되며 상기 챔버 내부에 설치된 샤워헤드,상기 샤워헤드와 대향되도록 위치되며 기판이 장착되는 스테이지,상기 샤워헤드와 상기 기판 사이에 설치된 스퍼터 건을 포함하며,상기 가스공급관을 통해 상기 챔버 내부로 반응가스를 주입하며, 상기 샤워헤드와 상기 스테이지에 고주파 전력을 인가하여 상기 샤워헤드와 상기 기판 사이에서 생성되는 플라즈마에 의해 상기 기판 상에 매트릭스 박막이 증착되는 동시에 상기 스퍼터 건으로부터 발광물질이 스퍼터링되어 상기 증착된 매트릭스 박막에 도핑되도록 구성된 것을 특징으로 하는 발광 가능한 실리콘 나노점 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 챔버에 상기 스퍼터 건이 다수개 구비된 것을 특징으로 하는 발광 가능한 실리콘 나노점 박막 제조 장치
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a) 기판을 챔버 내의 스테이지에 위치시키는 단계와,b) 가스공급관에 연결된 샤워헤드를 통해 상기 챔버 내부로 반응가스를 주입하며, 상기 샤워헤드와 상기 스테이지에 고주파 전력을 인가하는 단계와,c) 상기 샤워헤드와 상기 기판 사이에서 생성되는 플라즈마에 의해 상기 기판 상에 매트릭스 박막이 증착되도록 하는 동시에 상기 샤워헤드와 상기 기판 사이에 설치된 스퍼터 건으로부터 발광물질이 스퍼터링되어 상기 증착된 매트릭스 박막에 도핑되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 가능한 실리콘 나노점 박막 제조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 매트릭스 박막은 실리콘, 실리콘 산화물, 질화물 및 탄화물 중 어느 하나의 물질을 기반으로 하는 것을 특징으로 하는 발광 가능한 실리콘 나노점 박막 제조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 발광 물질은 한 종류 또는 한 종류 이상의 희토류 금속, 절연물 및 화합물 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 발광 가능한 실리콘 나노점 박막 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 희토류 금속은 어븀(Er)인 것을 특징으로 하는 발광 가능한 실리콘 나노점 박막 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 희토류 금속은 어븀(Er)인 것을 특징으로 하는 발광 가능한 실리콘 나노점 박막 제조 방법
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