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제1웨이퍼; 상기 제1웨이퍼의 앞면에 형성된 신호선, 제1고정전극과 금속포스트; 상기 제1웨이퍼의 뒷면을 관통하는 비아홀을 통해 각각 상기 신호선, 제1고정전극 및 상기 금속포스트와 전기적으로 연결되는 제1패드; 상기 제1웨이퍼의 앞면과 자신의 앞면이 서로 마주보면서 배치된 제2웨이퍼; 상기 제1웨이퍼의 앞면과 상기 제2웨이퍼의 앞면이 마주보도록 접합시키는 접합용 림; 상기 제2웨이퍼의 앞면에 형성된 제2고정전극; 상기 제2웨이퍼의 뒷면을 관통하는 비아홀을 통해 상기 제2고정전극과 전기적으로 연결되는 제2패드; 및 상기 금속포스트를 통해 일부분이 상기 제1웨이퍼와 전기적으로 연결되며 상기 제1고정전극 위에 일정한 공간을 두고 부양된 이동판 을 포함하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터
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제1항에 있어서, 상기 금속포스트는 하나로 구비되어 상기 이동판이 상기 금속포스트에 칸티레버 형태로 고정되는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터
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제1항에 있어서, 상기 금속포스트는 적어도 두개 구비되어 상기 이동판이 상기 금속포스트에 멤브레인 형태로 고정되는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터
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제1항에 있어서, 상기 제1고정전극과 상기 이동판 사이의 공간 두께는 상기 제2고정전극과 상기 이동판 사이의 공간 두께와 동일한 값을 갖는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터
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제1항에 있어서, 상기 제1웨이퍼와 상기 제2웨이퍼 사이의 접합간격을 조절하기 위하여 상기 제2웨이퍼 앞면에 형성된 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터
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제1항에 있어서, 상기 제1고정전극 및 상기 제2고정전극 위에는 상기 이동판과의 전기적 단락을 방지하기 위하여 절연층이 형성되는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터
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제1항에 있어서, 상기 이동판은 상기 금속포스트에 의해 양끝이 상기 제1웨이퍼에 고정되며 상기 제1고정전극으로부터 일정한 공간을 두고 형성된 이동전극, 상기 이동전극 아래에 형성된 절연층 및 상기 절연층 아래에 형성된 전도성 접촉패드를 포함하며, 상기 신호선은 입력단과 출력단이 분리되고, 상기 제1고정전극과 상기 금속포스트에 전압을 인가한 스위치 온 상태에서 상기 신호선과 상기 전도성 접촉패드가 연결되고, 상기 제2고정전극과 상기 금속포스트에 전압을 인가한 스위치 오프 상태에서 상기 전도성 접촉패드가 상기 신호선으로부터 탈착되어 저항식 스위치로 구동하는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터
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제1항에 있어서, 상기 제1고정전극과 상기 제2고정전극 상부에 각각 형성된 제1유전층과 제2유전층을 더 포함하며, 상기 제2고정전극과 상기 금속포스트에 전압을 인가한 스위치 온 상태에서 상기 이동판이 상기 제2유전층과 접촉하며, 상기 제1고정전극과 상기 금속포스트에 전압을 인가한 스위치 오프 상태에서 상기 이동판이 상기 제1유전층과 접촉하여 축전식 스위치로 구동하는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터
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제1웨이퍼; 상기 제1웨이퍼의 앞면에 형성된 축전기 하부전극, 구동용 하부전극 및 금속포스트; 상기 제1웨이퍼의 뒷면을 관통하는 비아홀을 통해 각각 상기 축전기 하부전극, 구동용 하부전극 및 상기 금속포스트와 전기적으로 연결되는 제1패드; 상기 제1웨이퍼의 앞면과 자신의 앞면이 서로 마주보면서 배치된 제2웨이퍼; 상기 제1웨이퍼의 앞면과 상기 제2웨이퍼의 앞면이 마주보도록 접합시키는 접합용 림; 상기 제2웨이퍼의 앞면에 형성된 구동용 상부전극; 상기 제2웨이퍼의 뒷면을 관통하는 비아홀을 통해 상기 구동용 상부전극과 전기적으로 연결되는 제2패드; 상기 금속포스트를 통해 일부분이 상기 제1웨이퍼와 전기적으로 연결되며 상기 구동용 하부전극 위에 일정한 공간을 두고 부양된 이동판; 및 상기 이동판의 움직이는 거리를 상기 구동용 전극과 상기 이동판 사이의 공간두께보다 작게 제한하기 위하여 상기 상기 제1웨이퍼 및 상기 제2웨이퍼 앞면에 형성된 범프 를 포함하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터를 구비하는 가변 축전기
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제9항에 있어서, 상기 구동용 하부전극과 상기 이동판 사이에 인가된 전압을 증가시키면 상기 축전기 하부전극과 상기 이동판 사이의 거리가 감소하여 축전용량이 증가하고, 상기 구동용 상부전극과 상기 이동판 사이에 인가된 전압을 증가시키면 상기 축전기 하부전극과 상기 이동판 사이의 거리가 증가하여 축전용량이 감소하는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터를 구비하는 가변 축전기
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제9항에 있어서, 상기 제1웨이퍼와 상기 제2웨이퍼 사이의 접합간격을 조절하기 위하여 상기 제2웨이퍼 앞면에 형성된 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터를 구비하는 가변 축전기
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12
제9항에 있어서, 상기 금속포스트는 하나로 구비되어 상기 이동판이 상기 금속포스트에 칸티레버 형태로 고정되는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터를 구비하는 가변 축전기
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제9항에 있어서, 상기 금속포스트는 적어도 두개 구비되어 상기 이동판이 상기 금속포스트에 멤브레인 형태로 고정되는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터를 구비하는 가변 축전기
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제9항에 있어서, 상기 구동용 하부전극과 상기 이동판 사이의 공간 두께는 상기 구동용 상부전극과 상기 이동판 사이의 공간 두께와 동일한 값을 갖는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터를 구비하는 가변 축전기
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제9항에 있어서, 상기 구동용 하부전극과 상기 이동판 사이의 공간 두께는 상기 구동용 상부전극과 상기 이동판 사이의 공간 두께와 동일한 값을 갖는 것을 특징으로 하는 정전식 양방향 미세기전 액추에이터를 구비하는 가변 축전기
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