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SOI 기판을 이용한 마이크로 렌즈 제작 방법 및 이를이용한 마이크로 컬럼 모듈 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015079485
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자빔 리소그라피(e-beam lithography) 장비에 사용되는 마이크로 렌즈(micro-lens)의 제작 방법 및 이를 이용한 마이크로 컬럼(micro-column) 모듈 제작 방법에 관한 것이다. 실리콘층에 렌즈 및 전기접점용 구멍이 형성된 SOI(Silicon on Insulator) 기판에 파이렉스 유리(Pyrex glass)를 접합시켜 마이크로 렌즈를 제작하고, 여러 장의 마이크로 렌즈를 다층으로 접합하여 마이크로 컬럼 모듈을 제작한다. SOI 기판을 사용함으로써 실리콘층의 두께를 정확하고 용이하게 제어할 수 있으며, 하나의 기판에 다수의 마이크로 렌즈를 동시에 형성할 수 있다. 또한, 다수의 마이크로 렌즈가 형성된 여러 장의 기판을 다층으로 정렬 및 접합하여 마이크로 컬럼 모듈을 제작하기 때문에 공정이 단순하고 비용이 절감된다. 마이크로 렌즈, 마이크로 컬럼, SOI 기판, 파이렉스 유리, 정렬
Int. CL G02B 3/00 (2006.01)
CPC G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01)
출원번호/일자 1020030096030 (2003.12.24)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0601003-0000 (2006.07.07)
공개번호/일자 10-2005-0064560 (2005.06.29) 문서열기
공고번호/일자 (20060719) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.12.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진우 대한민국 대구광역시 수성구
2 최상국 대한민국 대전광역시 유성구
3 김대용 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2003-0493238-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.05.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2005-0032527-62
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0306026-97
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.08.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0425212-49
6 의견서
Written Opinion
2005.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2005-0425221-50
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2005.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0661115-34
8 의견서
Written Opinion
2006.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0142935-60
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.02.27 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2006-0142924-68
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2006.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0201588-84
11 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2006.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0201587-38
12 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.05.04 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2006-0316795-45
13 서류반려이유안내서
Notice of Reason for Return of Document
2006.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0071933-18
14 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2006.05.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2006-0014999-42
15 서류반려안내서
Notification for Return of Document
2006.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0089687-46
16 등록결정서
Decision to grant
2006.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0390813-40
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 제 1 실리콘층, 절연층 및 제 2 실리콘층으로 이루어진 제 1 기판을 준비하는 단계와,b) 상기 제 2 실리콘층에 렌즈 구멍과 전기접점용 구멍을 각각 형성하는 단계와,c) 제 2 기판에 상기 렌즈 구멍 및 전기접점용 구멍과 일치되도록 구멍들을 형성하는 단계와,d) 상기 제 2 실리콘층의 표면에 상기 제 2 기판을 접합하는 단계와,e) 상기 제 2 기판의 표면에 보호필름을 접착하는 단계와,f) 상기 제 1 실리콘층 및 절연층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 단계 b)에서 상기 제 2 실리콘층에 적어도 1개 이상의 고정용 구멍과 정렬마크용 구멍을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 단계 c)에서 상기 제 2 기판에 상기 제 2 실리콘층에 형성된 고정용 구멍 및 정렬마크용 구멍에 일치되는 고정용 구멍과 정렬마크용 구멍을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 기판은 파이렉스 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 실리콘층에 형성되는 전기접점용 구멍은 상기 제 2 기판에 형성되는 구멍보다 더 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 제작 방법
6 6
삭제
7 7
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항의 방법으로 적어도 1개 이상의 마이크로 렌즈를 제작하는 단계와,상기 제작된 마이크로 렌즈를 적층 구조로 정렬하여 접합하는 단계와,상기 제 2 실리콘층에 형성된 전기접점용 구멍과 상기 제 2 기판에 형성된 구멍을 통해 원하는 마이크로 렌즈에 전압을 인가하기 위한 배선을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 제작 방법
8 7
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항의 방법으로 적어도 1개 이상의 마이크로 렌즈를 제작하는 단계와,상기 제작된 마이크로 렌즈를 적층 구조로 정렬하여 접합하는 단계와,상기 제 2 실리콘층에 형성된 전기접점용 구멍과 상기 제 2 기판에 형성된 구멍을 통해 원하는 마이크로 렌즈에 전압을 인가하기 위한 배선을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.