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반도체 광센서

  • 기술번호 : KST2015079559
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 위에 계면전하 또는 포획전하를 가지는 투광성의 비전도성 물질을 증착하여, 반도체 표면을 공핍시키고, 이 공핍영역을 빛의 감지영역으로 사용하는 광센서를 제작함으로서, 자외선 및 푸른색 영역 파장의 빛에 대한 감지 능력을 향상시키고, 가시광 및 적외선 영역의 광을 여과할 수 있으며, 일반적인 실리콘 CMOS 공정과도 양립할수 있는 광센서를 제작하는 것이다. 광센서, 포획전하, 계면전하, 공핍영역
Int. CL H01L 31/10 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020030097048 (2003.12.26)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0572853-0000 (2006.04.14)
공개번호/일자 10-2005-0065888 (2005.06.30) 문서열기
공고번호/일자 (20060424) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.12.26)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박건식 대한민국 대전광역시서구
2 유성욱 대한민국 대구광역시수성구
3 박종문 대한민국 대전광역시유성구
4 윤용선 대한민국 대전광역시유성구
5 김상기 대한민국 대전광역시유성구
6 김보우 대한민국 대전광역시유성구
7 배윤구 대한민국 대전광역시서구
8 임병원 대한민국 대전광역시유성구
9 구진근 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2003-0496076-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.05.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.06.16 수리 (Accepted) 9-1-2005-0036079-02
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0541092-91
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2005.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0761800-78
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.01.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0060321-46
7 의견서
Written Opinion
2006.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0060325-28
8 등록결정서
Decision to grant
2006.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0206886-46
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광을 검출하기 위한 수광영역이 정의된 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상부의 상기 수광영역 위에 형성되며, 전하를 가지는 투광성 비전도층; 및 상기 수광영역에서 감지된 전하를 전달하기 위한 적어도 하나의 전극을 포함하여 구성되되,상기 투광성 비전도층에 있는 트랩된 전하에 의해 상기 수광영역의 반도체층 표면이 공핍되어 형성된 공핍영역을 가지는 것을 특징으로 하는 광센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 트랩된 전하는 상기 투광성 비전도성 물질 고유의 계면 전하 또는 포획전하인 것을 특징으로 하는 광센서
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 트랩된 전하는 인위적으로 추가된 전하인 것을 특징으로 하는 광센서
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 투광성 비전도층은 실리콘산화막 또는 실리콘 질화막인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 광센서
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 투광성 비전도층은 입사광의 파장에 맞게 조절하여 반반사막으로 이용되는 것을 특징으로 하는 광센서
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 반도체 기판의 표면으로 부터 고농도 확산영역과 저농도 확산영역이 차례로 적층된 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 광센서
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 반도체 저농도 확산영역과 고농도 확산영역은 에피택셜층 또는 이온주입으로 형성된 층들인 것을 특징으로 하는 광센서
8 8
삭제
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극은, 상기 공핍된 반도체 표면의 한쪽 끝단에 형성된 제 1 유형의 고농도 확산영역의 제 1 전극; 및 상기 공핍된 반도체 표면의 다른쪽 끝단에 형성된 제 2 유형의 고농도 확산영역의 제 2 전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 광센서
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 제 1 전극과 제 2 전극은 각각 스트립형상으로 제조되고, 서로 깍지 낀 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 광센서
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극은, 상기 공핍된 반도체 표면의 양쪽 끝단들에 형성된, 제 1 유형(기판의 농도 유형과 반대)의 고농도 확산영역의 제 1 전극; 및 반도체 기판의 뒷면에 상기 제 1 유형과 반대되는 유형의 고농도 확산영역의 제 2 전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 하는 광센서
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 제 1 전극이 스트립형상으로 제조되는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 광센서
13 12
제 11 항에 있어서, 상기 제 1 전극이 스트립형상으로 제조되는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 광센서
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07170044 US 미국 FAMILY
2 US20050139753 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2005139753 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7170044 US 미국 DOCDBFAMILY
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