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이종체 정렬, 적층 및 절단에 의한 집적 모듈 및 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015079566
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패키지 기술에 관한 발명이다. 특히 이종체 정렬, 적층 및 절단에 의한 집적 모듈 및 제작 방법에 관한 발명이다. 본 발명은 실리콘 기판과 같은 집적회로 원판(집적회로층)과 세라믹 기판과 같은 수동소자 적층판(수동소자층)을 정렬하여 쌓은 후 절단하는 방법으로 집적화 모듈을 얻는 방법으로, 집적형 프론트-앤드 송수신기 제작 등에 이용될 수 있다. 수동소자층에서는 안테나, 분배기, 결합기, 듀플렉서 등과 같은 수동소자를 집적화함으로써 전파의 송수신, 원하는 신호를 필터링, 높은 Q값의 인덕터 제공하는 등의 기능을 수행한다. 집적회로층은 신호의 증폭, 변조 등의 신호 처리를 하는 기능을 제공한다. 본 발명은 수동소자층과 능동소자층을 같이 집적하여 초소형의 구조가 가능하게 하고, 정렬하여 쌓은 후에 절단함으로써 개개 블록마다 별도의 RF 패키지 처리 또는 신호의 연결선 개수를 줄일 수 있어 블록 단가를 크게 낮출 수 있음을 특징으로 한다. 집적회로층, 수동소자층, 패키지, 정렬, 적층, 절단, 집적 모듈.
Int. CL H01L 25/065 (2006.01)
CPC H01L 25/50(2013.01) H01L 25/50(2013.01)
출원번호/일자 1020030097052 (2003.12.26)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0577079-0000 (2006.04.28)
공개번호/일자 10-2005-0065892 (2005.06.30) 문서열기
공고번호/일자 (20060510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.12.26)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민봉기 대한민국 대전광역시유성구
2 송영주 대한민국 대전광역시유성구
3 심규환 대한민국 대전광역시유성구
4 강진영 대한민국 대전광역시유성구
5 조경익 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2003-0496080-82
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.08.19 수리 (Accepted) 9-1-2005-0053181-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0470302-41
5 의견서
Written Opinion
2005.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2005-0614730-66
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.10.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0614712-44
7 등록결정서
Decision to grant
2006.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0182264-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 수동소자를 포함하는 수동소자층 및 반도체 집적회로를 포함하는 집적회로층을 형성하는 단계; (b) 상기 수동소자층 및 상기 집적회로층을 정렬하여 적층하는 단계; 및 (c) 상기 적층된 수동소자층 및 집적회로층을 절단하는 단계를 포함하는 집적 모듈 제작 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 수동소자층은 윗면에 위치한 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈 제작 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 수동소자층은 패드 형성을 위한 전도성 물질을 포함하고 있으며, 상기 (c) 단계에서 수행되는 절단을 통하여 상기 전도성 물질을 측면에 노출시킴으로써, 집적 모듈의 측면에 패드를 형성하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈 제작 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 수동소자층 및 집적회로층의 접촉면에 적층에 의하여 서로 접속되는 패드가 각각 있는 것을 특징으로 하는 집적 모듈 제작 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 수동소자층 및 상기 집적회로층 중 적어도 하나는 서로 접하는 면에 접지면을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈 제작 방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 수동소자층 및 상기 집적회로층 중 적어도 하나는 접촉면에 형성된 유전막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈 제작 방법
7 7
제 1 내지 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 집적회로층은 반도체 기판에 제작된 것이고, 상기 수동소자층은 세라믹 기판에 제작된 것을 특징으로 하는 집적 모듈 제작 방법
8 8
반도체 집적회로를 포함하는 집적회로 모듈; 및 수동소자를 포함하고, 상기 집적회로 모듈 위에 위치하는 수동소자 모듈을 포함하는 집적 모듈로써, 상기 집적회로 모듈 및 상기 수동소자 모듈 사이의 전기적 연결이 상기 집적회로 모듈 및 상기 수동소자 모듈의 접촉면을 통하여 이루어지고, 상기 수동소자 모듈은 상기 수동소자 모듈의 윗면에 위치한 패드 및 상기 수동소자 모듈의 측면에 위치한 패드 중 적어도 하나를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 수동소자 모듈 및 상기 집적회로 모듈의 접촉면에는 상기 집적회로 모듈 및 상기 수동소자 모듈 사이의 전기적 연결을 위한 단수 또는 복수개의 패드가 있는 것을 특징으로 하는 집적 모듈
10 10
제 8 항에 있어서, 상기 집적회로 모듈은 반도체 기판에 제작된 것이고, 상기 수동소자 모듈은 세라믹 기판에 제작된 것을 특징으로 하는 집적 모듈
11 11
제 8 항에 있어서, 상기 수동소자 모듈은 상기 집적회로 모듈에 인접한 부분에 전도성 물질인 접지층을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈
12 12
제 8 항에 있어서, 상기 수동소자 모듈은 안테나를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈
13 13
제 8 항에 있어서, 상기 수동소자 모듈은 표면에 형성된 유전막을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈
14 14
제 8 항에 있어서, 상기 수동소자 모듈 위에 적층된 집적회로 모듈을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈
15 14
제 8 항에 있어서, 상기 수동소자 모듈 위에 적층된 집적회로 모듈을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 모듈
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.