맞춤기술찾기

이전대상기술

마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치

  • 기술번호 : KST2015080067
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치를 제공한다. 본 발명은 현미경 스테이지 상에 놓여지면서, 상부 표면에는 유리 절연층에 의하여 분리된 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품이 놓여지는 지지부와, 상기 지지부 양단에 위치하여 상기 지지부에 고정되는 숫나사 및 그에 따른 암나사를 포함한다. 또한, 본 발명은 상기 지지부와 이격되어 상기 지지부 상부를 가로 질러서 위치하고, 상기 숫나사는 양단의 제1 관통홀을 통과하고 상기 암나사는 상기 제1 관통홀 상부에 위치하여 고정되는 석영 막대와, 상기 석영 막대의 중앙부에 설치된 제2 관통홀을 통하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 위에서 아래로 압력을 인가하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 고정할 수 있는 스프링 전극을 포함하여 이루어진다. 이에 따라, 본 발명의 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치는 많은 주의와 시간이 소모되지 않고 보다 용이하고 정밀하게 마이크로 컬럼을 정렬 및 접합할 수 있다.
Int. CL H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01)
출원번호/일자 1020040097470 (2004.11.25)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0609709-0000 (2006.07.31)
공개번호/일자 10-2006-0058744 (2006.05.30) 문서열기
공고번호/일자 (20060808) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.11.25)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정진우 대한민국 대구 수성구
2 김대용 대한민국 대전 중구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2004-0553201-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.02.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2006-0017907-46
4 등록결정서
Decision to grant
2006.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0368782-51
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
현미경 스테이지 상에 놓여지면서, 상부 표면에는 유리 절연층에 의하여 분리된 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품이 놓여지는 지지부; 상기 지지부 양단에 위치하여 상기 지지부에 고정되는 숫나사 및 그에 따른 암나사; 상기 지지부와 이격되어 상기 지지부 상부를 가로 질러서 위치하고, 상기 숫나사는 양단의 제1 관통홀을 통과하고 상기 암나사는 상기 제1 관통홀 상부에 위치하여 고정되는 석영 막대; 및 상기 석영 막대의 중앙부에 설치된 제2 관통홀을 통하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 위에서 아래로 압력을 인가하여 상기 마이크로 컬럼 구성품을 고정할 수 있는 스프링 전극을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품의 하부의 지지부내에 상부 진공홈이 설치되고, 상기 현미경 스테이지 상의 지지부 내에는 하부 진공홈이 설치되고, 상기 상부 진공홈 및 하부 진공홈은 모두 진공 라인과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품의 하부의 지지부내에 위치하는 광투과홀은 외기 대기압과 연결되는 배기 라인이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 상에는, 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품을 수평 방향(X-Y 방향)으로 움직일 수 있는 척이 설치되고, 상기 척을 이동시켜 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 및 상기 하단 마이크로 컬럼 구성품의 중앙부에 위치하는 정렬홀의 중심을 서로 맞추는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품은 마이크로 렌즈인 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 현미경 스테이지 아래에는 현미경 광원이 위치하고, 상기 석영 막대 상에는 현미경이 위치하여 상기 현미경 광원에서 발생된 광을 이용하여 상기 상단 및 하단 마이크로 컬럼 구성품을 정렬하는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 스프링 전극은 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 및 하단 마이크로 컬럼 구성품을 양극 접합할 때 고전압이 인가되는 전극인 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치
8 7
제1항에 있어서, 상기 스프링 전극은 상기 상단 마이크로 컬럼 구성품 및 하단 마이크로 컬럼 구성품을 양극 접합할 때 고전압이 인가되는 전극인 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 정렬 및 접합용 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.