| 1 |
1
기판에 광섬유가 장착될 홈을 형성하는 단계;상기 홈을 선택적으로 차폐하도록 상기 홈의 윗부분에 차폐막 패턴을 형성하는 단계;상기 기판 상에 상기 차폐막 패턴 상으로 연장되는 광도파로를 위한 층들을 형성하는 단계;상기 층들을 패터닝하여 광도파로를 형성하는 단계;상기 차폐막을 제거하여 상기 홈을 노출시키는 단계; 및상기 광도파로에 정렬되는 광섬유를 상기 홈에 장착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유에 수동정렬되는 폴리머 광도파로 형성 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 차폐막 패턴을 형성하는 단계는 상기 홈을 가리게 포토레지스트 물질의 필름형 박막을 상기 기판 상에 부착하는 단계; 및 상기 필름형 박막을 패터닝하여 상기 홈을 선택적으로 가리고 나머지 상기 기판 부분을 노출하는 상기 차폐막 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유에 수동정렬되는 폴리머 광도파로 형성 방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 포토레지스트 물질의 필름형 박막은 건식 필름 포토레지스트(DFR)의 박막을 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유에 수동정렬되는 폴리머 광도파로 형성 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 광도파로를 위한 층들은 폴리머층을 포함하여 형성되고, 상기 광도파로들을 패터닝하는 단계는 상기 폴리머층을 건식 식각으로 패터닝하는 단계를 포함하되 상기 건식 식각에 의해서 상기 차폐막은 함께 식각되어 제거되는 것을 특징으로 하는 광섬유에 수동정렬되는 폴리머 광도파로 형성 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 차폐막 패턴을 형성하기 이전에 상기 기판 상에 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유에 수동정렬되는 폴리머 광도파로 형성 방법
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 절연층 상에 금속 배선 및 솔더를 순차적으로 형성하는 단계; 및 상기 금속 배선에 전기적으로 연결되는 광능동소자를 상기 솔더 상에 탑재(mounting)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유에 수동정렬되는 폴리머 광도파로 형성 방법
|
| 7 |
6
제5항에 있어서, 상기 절연층 상에 금속 배선 및 솔더를 순차적으로 형성하는 단계; 및 상기 금속 배선에 전기적으로 연결되는 광능동소자를 상기 솔더 상에 탑재(mounting)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유에 수동정렬되는 폴리머 광도파로 형성 방법
|
