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여러 파장의 빔을 발생시키는 반도체 광증폭기; 상기 빔을 경사지게 출력하되, 회절된 빔이 평행하게 진행할 수 있도록 종단면이 Wordsworth 격자계 방식에 따라 위치된 수동 도파로; 상기 수동 도파로로부터 출력된 빔을 수평적으로 퍼지게 함과 아울러 수직적으로 가두어 도파시키는 슬랩 도파로; 광 입사면이 오목 형상으로 이루어지며, 상기 슬랩 도파로로부터 진행되는 빔을 파장에 따라 평행하게 회절시키는 오목곡면 회절격자; 상기 슬랩 도파로의 일측면에 형성되어 상기 오목곡면 회절격자에 의해 회절된 평행한 빔을 반사시키는 반사거울; 및 상기 오목곡면 회절격자 및 상기 반사거울 사이에 위치되며, 전기적 신호에 따라 굴절율이 변화되어 상기 오목곡면 회절격자에 의해 회절된 빔 중 특정 파장의 빔이 상기 반사거울에 수직 입사되도록 하는 가변 광 편향기를 포함하며, 상기 반도체 광증폭기, 상기 회절격자 및 상기 가변 광 편향기가 상기 슬랩 도파로에 집적된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서, 상기 반도체 광증폭기, 상기 회절격자, 상기 가변 광 편향기 및 상기 슬랩 도파로가 InP 또는 GaAs계 반도체 기판으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서, 상기 회절격자, 상기 가변 광 편향기 및 상기 슬랩 도파로가 실리카 또는 폴리머계 기판으로 이루어지고, 상기 실리카 또는 폴리머계 기판 상에 InP 또는 GaAs계로 이루어진 상기 반도체 광증폭기가 하이브리드 방식으로 집적된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 3 항에 있어서, 상기 실리카 또는 폴리머계 기판과 상기 반도체 광증폭기 사이에 원통형 렌즈가 삽입된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 3 항에 있어서, 상기 슬랩 도파로와 상기 반도체 광증폭기가 접하는 부분의 상기 실리카 또는 폴리머계 기판에 무반사 박막이 증착된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서, 상기 가변 광 편향기는 상기 슬랩 도파로의 소정 부분에 삼각형 형상의 p/n 접합으로 형성되고, 상기 p/n 접합에 상기 전기적 신호가 인가되는 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서, 상기 반도체 광증폭기, 상기 가변 광 편향기 및 상기 반사거울은 InP 또는 GaAs계 슬랩 도파로에 형성되고, 상기 회절격자는 실리카 또는 폴리머계 슬랩 도파로에 형성되며, 상기 InP 또는 GaAs계 슬랩 도파로와 상기 실리카 또는 폴리머계 슬랩 도파로가 하이브리드 집적을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 7 항에 있어서, 상기 InP 또는 GaAs계 슬랩 도파로와 상기 실리카 또는 폴리머계 슬랩 도파로 사이에 광연결을 위해 원통형 렌즈가 삽입된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 7 항에 있어서, 상기 InP 또는 GaAs계 슬랩 도파로와 상기 실리카 또는 포리머계 슬랩 도파로의 접합면에 반사율을 최소화시키기 위한 무반사 박막이 증착된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 7 항에 있어서, 상기 가변 광 편향기는 상기 InP 또는 GaAs계 슬랩 도파로의 소정 부분에 삼각형 형상의 p/n 접합으로 형성되고, 상기 p/n 접합에 상기 전기적 신호가 인가되는 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서, 상기 빔을 적어도 한번 이상 굴절시키기 위해 상기 가변 광 편향기가 다단계로 배열된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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11
제 1 항에 있어서, 상기 빔을 적어도 한번 이상 굴절시키기 위해 상기 가변 광 편향기가 다단계로 배열된 것을 특징으로 하는 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저 다이오드
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