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중심부에 상하방향으로 관통형성된 관통공을 구비하는 몸체;전자를 방출하는 에미션 팁(emission tip)을 포함하는 팁부를 중심에 내장하고, 상기 몸체의 관통공을 관통하도록 배치되되 상기 관통공 내에서 상하방향에 대해 수직인 제1축 상의 움직임이 가능하도록 결합되는 보빈;상기 몸체에 구비되며, 전압을 가하면 길이가 늘어나면서 상기 보빈을 상기 제1축의 일방향으로 밀 수 있는 제1압전소자; 상기 몸체에 구비되며, 전압을 가하면 길이가 늘어나면서 상기 보빈을 상기 제1축의 타방향으로 밀 수 있는 제2압전소자; 및 상기 몸체의 관통공과 연통되는 관통공을 구비하여 상기 보빈을 통과시키며, 상기 몸체의 상부에 결합되는 상부커버;를 포함하여 이루어지고, 상기 제1, 2압전소자는, 가했던 전압을 제거하면 길이가 다시 줄어들면서 상기 보빈과 이격되어 떨어지도록 되어 있어서,상기 제1압전소자와 제2압전소자에 가하는 전압을 조절함으로써 상기 보빈을 상기 제1축 상의 원하는 위치에 위치시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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제1항에 있어서, 상기 보빈은, 상기 몸체에 형성된 관통공의 크기보다 크게 직경이 확대된 플렌지부를 구비하고, 상기 상부커버는 상기 보빈의 플렌지부를 가압하여 보빈의 움직임을 제한하는 가압수단을 더 구비하되, 상기 가압수단은 상기 보빈이 상기 제1 또는 제2압전소자의 미는 힘에 의해서 제1축 상의 움직임이 가능한 정도로 보빈을 가압하는 가압수단이 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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제3항에 있어서, 상기 가압수단은, 상기 상부커버의 하부에 마련된 스프링인 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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제1항에 있어서, 상기 제1압전소자의 외측에 마련되어 제1축 상의 제1압전소자의 위치를 조절할 수 있는 제1조절나사와, 상기 제2압전소자의 외측에 마련되어 제1축 상의 제2압전소자의 위치를 조절할 수 있는 제2조절나사를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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제1항에 있어서, 상기 몸체에 구비되며, 전압을 가하면 길이가 늘어나면서 상기 보빈을 상기 상하방향과 상기 제1축에 대해 각각 수직인 제2축 상의 일방향으로 밀 수 있는 제3압전소자;와 상기 몸체에 구비되며, 전압을 가하면 길이가 늘어나면서 상기 보빈을 상기 제2축 상의 타방향으로 밀 수 있는 제4압전소자;를 더 구비하고,상기 제3, 4압전소자는, 각각 가했던 전압을 제거하면 길이가 다시 줄어들면서 상기 보빈과 이격되어 떨어지도록 되어 있어서, 상기 제3압전소자와 제4압전소자에 가하는 전압을 조절함으로써 상기 보빈을 상기 제2축 상의 원하는 위치에 위치시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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제6항에 있어서, 상기 보빈과 대면하는 제1, 2압전소자의 각 면의 제2축 방향으로의 폭은, 상기 보빈이 상기 제3 혹은 제4압전소자에 의해 제2축 상에서 움직일 수 있는 최대 이동거리보다는 적지 않은 길이로 되어 있고, 상기 보빈과 대면하는, 제3, 4압전소자의 각 면의 제1축 방향으로의 폭은, 상기 제1 혹은 제2압전소자에 의해 제1축 상에서 움직일 수 있는 최대 이동거리보다는 적지 않은 길이로 되어 있어서, 상기 보빈이 제1축 상의 어떠한 위치에 있더라도, 상기 제3, 4압전소자에 의한 보빈의 제2축 상의 움직임은 그 영향을 받지 않으며, 상기 보빈이 제2축 상의 어떠한 위치에 있더라도, 상기 제1, 2압전소자에 의한 보빈의 제1축 상의 움직임은 그 영향을 받지 않는 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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제1항에 있어서 상기 제1압전소자는 상기 제1축에 대해 평행하게 이격된 제1직선을 지나도록 배치되고, 상기 제1축과 이격된 제1직선의 사이에서 제1직선에 더 가까운 위치에 제1받침돌기를 구비하고, 상기 제1받침돌기를 받침축으로 하고 상기 제1압전소자와 상기 보빈에 걸쳐 배치되는 제1레버를 구비하여, 상기 제1압전소자의 길이가 늘어나면, 그 늘어나는 움직임은 상기 제1레버를 통해, 상기 제1축과 제1받침돌기 사이의 거리를 상기 제1받침돌기와 제1직선 사이의 거리로 나눈 값을 곱한 값만큼 확대되어, 상기 보빈을 이동시키며, 상기 제2압전소자는 상기 제1축에 대해 평행하게 이격된 제2직선을 지나도록 배치되되 상기 제1압전소자의 반대편에 배치되고, 상기 제1축과 이격된 제2직선의 사이에서 제2직선에 더 가까운 위치에 제2받침돌기를 구비하고, 상기 제2받침돌기를 받침축으로 하고 상기 제2압전소자와 상기 보빈에 걸쳐 배치되는 제2레버를 구비하여, 상기 제2압전소자의 길이가 늘어나면, 그 늘어나는 움직임은 상기 제2레버를 통해, 상기 제1축과 제2받침돌기 사이의 거리를 상기 제2받침돌기와 제1직선 사이의 거리로 나눈 값을 곱한 값만큼 확대되어, 상기 보빈을 이동시키는 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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제6항에 있어서 상기 제3압전소자는 상기 제2축에 대해 평행하게 이격된 제3직선을 지나도록 배치되고, 상기 제2축과 이격된 제3직선의 사이에서 제3직선에 더 가까운 위치에 제3받침돌기를 구비하고, 상기 제3받침돌기를 받침축으로 하고 상기 제3압전소자와 상기 보빈에 걸쳐 배치되는 제3레버를 구비하여, 상기 제3압전소자의 길이가 늘어나면, 그 늘어나는 움직임은 상기 제3레버를 통해, 상기 제2축과 제3받침돌기 사이의 거리를 상기 제1받침돌기와 제3직선 사이의 거리로 나눈 값을 곱한 값만큼 확대되어, 상기 보빈을 이동시키며, 상기 제4압전소자는 상기 제2축에 대해 평행하게 이격된 제4직선을 지나도록 배치되되 상기 제3압전소자의 반대편에 배치되고, 상기 제2축과 이격된 제4직선의 사이에서 제4직선에 더 가까운 위치에 제4받침돌기를 구비하고, 상기 제4받침돌기를 받침축으로 하고 상기 제4압전소자와 상기 보빈에 걸쳐 배치되는 제4레버를 구비하여, 상기 제4압전소자의 길이가 늘어나면, 그 늘어나는 움직임은 상기 제4레버를 통해, 상기 제2축과 제4받침돌기 사이의 거리를 상기 제4받침돌기와 제2직선 사이의 거리로 나눈 값을 곱한 값만큼 확대되어, 상기 보빈을 이동시키는 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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제6항에 있어서 상기 제3압전소자는 상기 제2축에 대해 평행하게 이격된 제3직선을 지나도록 배치되고, 상기 제2축과 이격된 제3직선의 사이에서 제3직선에 더 가까운 위치에 제3받침돌기를 구비하고, 상기 제3받침돌기를 받침축으로 하고 상기 제3압전소자와 상기 보빈에 걸쳐 배치되는 제3레버를 구비하여, 상기 제3압전소자의 길이가 늘어나면, 그 늘어나는 움직임은 상기 제3레버를 통해, 상기 제2축과 제3받침돌기 사이의 거리를 상기 제1받침돌기와 제3직선 사이의 거리로 나눈 값을 곱한 값만큼 확대되어, 상기 보빈을 이동시키며, 상기 제4압전소자는 상기 제2축에 대해 평행하게 이격된 제4직선을 지나도록 배치되되 상기 제3압전소자의 반대편에 배치되고, 상기 제2축과 이격된 제4직선의 사이에서 제4직선에 더 가까운 위치에 제4받침돌기를 구비하고, 상기 제4받침돌기를 받침축으로 하고 상기 제4압전소자와 상기 보빈에 걸쳐 배치되는 제4레버를 구비하여, 상기 제4압전소자의 길이가 늘어나면, 그 늘어나는 움직임은 상기 제4레버를 통해, 상기 제2축과 제4받침돌기 사이의 거리를 상기 제4받침돌기와 제2직선 사이의 거리로 나눈 값을 곱한 값만큼 확대되어, 상기 보빈을 이동시키는 것을 특징으로 하는 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지
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