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기판과, 상기 기판과의 사이에 공기층이 개재되도록 상기 기판으로부터 소정 거리 이격되어 있는 신호선과, 상기 신호선의 양측에서 상기 신호선의 길이 방향을 따라 주기적으로 형성되어 있는 복수의 가변 축전기와, 상기 가변 축전기에 DC 전압을 인가하기 위하여 상기 기판상에 형성되어 있는 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 분포 정수형 위상 변위기
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제1항에 있어서, 상기 가변 축전기는 강유전체 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 분포 정수형 위상 변위기
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제2항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 BST (barium strontium titanate)로 구성된 것을 특징으로 하는 분포 정수형 위상 변위기
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제1항에 있어서, 상기 가변 축전기는 IDT (interdigital) 형태의 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 분포 정수형 위상 변위기
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제1항에 있어서, 상기 가변 축전기와 상기 신호선과의 사이에는 상기 공기층의 높이를 한정하도록 상기 기판상에서 상기 기판에 대하여 수직 방향으로 연장되어 있는 금속 기둥을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분포 정수형 위상 변위기
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제1항에 있어서, 상기 기판과 상기 신호선과의 사이에는 상기 기판의 상면에 직접 접해 있는 강유전체 박막이 위치하고, 상기 공기층은 상기 강유전체 박막과 상기 신호선과의 사이에 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 분포 정수형 위상 변위기
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제1항에 있어서, 상기 기판과 상기 신호선과의 사이에는 상기 기판의 상면에 직접 접해 있는 강유전체 박막이 위치하고, 상기 공기층은 상기 강유전체 박막과 상기 신호선과의 사이에 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 분포 정수형 위상 변위기
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