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배선이 형성된 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic) 기판;상기 LTCC 기판의 적어도 일측에 접합되며, 전자빔을 편향시키는 복수개의 편향소자가 배열된 상기 웨이퍼 크기의 편향기 어레이;상기 편향기 어레이에 접합되며, 상기 편향소자의 중심과 정렬되는 복수개의 렌즈를 포함하는 상기 웨이퍼 크기의 렌즈 어레이; 및상기 렌즈 어레이에 상기 전자빔을 공급하는 전자방출원 어레이를 포함하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제1항에 있어서, 상기 배선과 상기 편향소자는 배선전극에 의해 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제1항에 있어서, 상기 배선전극은 도전성이 우수한 은(Ag) 전극인 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제1항에 있어서, 상기 배선전극은 상기 편향소자에 전도성 에폭시를 이용하여 접착시키는 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제1항에 있어서, 상기 배선은 다층의 배선인 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제1항에 있어서, 상기 편향기는 상기 LTCC 기판을 중심으로 상부 편향기와 하부 편향기로 이루어진 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제1항에 있어서, 상기 편향소자는 복수개의 막대형 전극이 각각 독립적으로 동작하도록 형성된 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제7항에 있어서, 상기 편향소자는 8개의 전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제7항에 있어서, 상기 편향소자를 이루는 복수개의 막대형 전극의 동일한 방위각에 있는 전극은 동일한 전압신호를 인가받는 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제1항에 있어서, 상기 편향소자는 유리 기판에 접착되는 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제1항에 있어서, 상기 렌즈 어레이는 상기 전자방출원 어레이와 인접한 소스렌즈 어레이와 상기 웨이퍼를 마주보는 초점렌즈 어레이로 이루어진 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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제11항에 있어서, 상기 소스렌즈 어레이의 중심은 상기 초점렌즈 어레이의 중심으로부터 연장되는 직선 상에 놓이는 것을 특징으로 하는 LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이
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