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플라스틱 기판;상기 플라스틱 기판 상에 형성된 미세 패턴으로 이루어진 히터;상기 히터에 전원을 공급하기 위하여 상기 플라스틱 기판 상에 형성된 전극들;상기 히터와 인접된 부분의 상기 플라스틱 기판 상에 형성된 미세 패턴으로 이루어진 온도센서; 상기 전극, 히터 및 온도센서를 포함하는 전체 상부면에 위치하며, 상기 전극들의 일부분이 노출되도록 형성된 절연막을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기
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제 1 항에 있어서, 상기 플라스틱 기판은 COC, PMMA, PC, COP, LCP, PDMS, PA, PE, PI, PP, PPE, PS, POM, PEEK, PES, PET, PTFE, PVC, PVDF, PBT, FEP 및 PFA 중 하나 또는 이들의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기
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a) 플라스틱 기판을 제공하는 단계,b) 상기 플라스틱 기판의 일면에 지지기판을 부착하는 단계,c) 상기 플라스틱 기판의 다른 일면에 미세 패턴으로 이루어진 히터, 상기 히터에 전원을 공급하기 위한 전극들 및 미세 패턴으로 이루어진 온도센서를 형성하는 단계,d) 전체 상부면에 절연막을 형성한 후 상기 전극들의 일부분이 노출되도록 상기 절연막을 패터닝하는 단계, 및 e) 상기 지지기판을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 a) 플라스틱 기판을 제공하는 단계에서, 상기 플라스틱 기판은, 화학적기계적연마 공정으로 각 면들이 연마된 금형을 이용하여 고분자 물질을 박막 형태로 성형함으로써 제작된 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 고분자 물질은 COC, PMMA, PC, COP, LCP, PDMS, PA, PE, PI, PP, PPE, PS, POM, PEEK, PES, PET, PTFE, PVC, PVDF, PBT, FEP 및 PFA 중 하나 또는 이들의 조합인 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 지지기판을 부착하기 위해 상기 플라스틱 기판 상에 접착층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 단계 e)를 수행한 후 열적 고립 특성을 향상시키기 위해 소정 부분의 상기 절연막과 상기 플라스틱 기판을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 소정 부분은 상기 히터 주변부인 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 플라스틱 기판은 0
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제 4 항에 있어서, 상기 플라스틱 기판에 상기 지지기판을 부착하기 위해 점착제, 초음파 접합 및 열접합 방법 중 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기의 제조 방법
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