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마이크로 컬럼에의 결선의 퀵 커넥팅을 위한 멀티 포고 핀및 패드 디스크 모듈을 포함하는 전자빔 리소그래피 장비

  • 기술번호 : KST2015080662
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 마이크로 컬럼에의 결선의 퀵 커넥팅을 위한 멀티 포고 핀 및 패드 디스크 모듈을 포함하는 전자빔 리소그래피 장비를 제시한다. 본 발명에 따르면, 챔버 내에 기판의 장착을 위해 설치된 스테이지부, 스테이지부 상에 설치되어 기판 상에 전자빔 리소그래피 과정을 수행할 마이크로 컬럼, 마이크로 컬럼과 전기적으로 연결된 다수의 단자 패드들이 배열된 패드 디스크부, 단자 패드들에 탄성 접촉하게 각각 대응되는 다수의 포고(pogo) 핀들이 배열된 핀 배열부, 및 핀에 전기적으로 연결된 피드쓰루들이 관통 설치되되 챔버를 실링(sealing)하는 챔버 리드(lid)를 포함하는 마이크로 컬럼 전자빔 리소그래피 장비를 제시한다. 전자빔 리소그래피, 마이크로 컬럼, 결선, 포고 핀, 단자 패드
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01J 37/3174(2013.01) H01J 37/3174(2013.01) H01J 37/3174(2013.01) H01J 37/3174(2013.01)
출원번호/일자 1020050042171 (2005.05.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0617323-0000 (2006.08.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20060830) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.05.19)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최상국 대한민국 대전 유성구
2 정진우 대한민국 대구 수성구
3 김대준 대한민국 대전 서구
4 김대용 대한민국 대전 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2005-0263432-21
2 등록결정서
Decision to grant		 2006.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0396048-68
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
챔버;상기 챔버 내에 기판의 장착을 위해 설치된 스테이지부;상기 스테이지부 상에 설치되어 상기 기판 상에 전자빔 리소그래피 과정을 수행할 마이크로 컬럼;상기 마이크로 컬럼 상에 설치되되 상기 마이크로 컬럼과 전기적으로 연결된 다수의 단자 패드들이 배열된 패드 디스크부;상기 단자 패드들에 탄성 접촉하게 각각 대응되는 다수의 포고(pogo) 핀들이 배열된 핀 배열부; 및상기 핀에 전기적으로 연결된 피드쓰루들이 관통 설치되되 상기 챔버를 실링(sealing)하는 챔버 리드(lid)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 리소그래피 장비
2 2
제1항에 있어서, 상기 포고 핀들은 상기 핀 배열부에 적어도 2열 이상 원형으로 병렬 배열되고상기 단자 패드들은 상기 핀들에 대응되게 적어도 2층 이상 적층된 상태로 원형으로 병렬 배열된 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 리소그래피 장비
3 3
제1항에 있어서, 상기 핀 배열부는 상기 챔버 리드에 고정 체결되고상기 패드 디스크부는 상기 챔버 몸체에 고정 체결되고상기 포고 핀이 상기 단자 패드에 각각 대응되게 상기 핀 배열부와 상기 패드 디스크부를 정렬하기 위한 가이드(guide)부 및 가이드 홈이 상기 핀 배열부 및 상기 패드 디스크부에 각각 설치된 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 리소그래피 장비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.