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LTCC(low temperature Co-fired Ceramic) 기판;상기 LTCC 기판의 상면 소정 부분에 부착되는 수 개의 편향기 전극; 상기 LTCC 기판의 상면 가장자리에 위치하며, 상기 편향기 전극에 외부 신호를 전달하는 패드 전극; 및상기 LTCC 기판 내에 위치하며, 상기 편향기 전극 및 패드 전극을 전기적으로 연결하는 연결수단을 포함하고,상기 LTCC 기판은 라미네이트된 다층의 세라믹층을 포함하고,상기 연결 수단은, 상기 다층 세라믹층 사이에 각각 위치되는 배선층; 상기 세라믹층 표면과 상기 편향기 전극 사이에 위치하는 접촉 전극; 및 상기 세라믹층 내부에 형성되고, 상기 배선층들, 및 배선층과 접촉 전극을 전기적으로 연결시키는 비어 콘택을 포함하고,상기 패드 전극과 그와 인접하는 편향기 전극 사이의 배선층의 저항 및 상기 패드 전극과 그와 이격되어 있는 편향기 전극 사이의 배선층의 저항은 실질적으로 동일한 마이크로 컬럼 전자빔 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 배선층, 접촉 전극 및 비어 콘택은 은(Ag)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 접촉 전극과 상기 편향기 전극 사이에 도전성 접착제가 개재되는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 패드 전극과 그와 인접하는 편향기 전극 사이의 배선층의 단면적과 상기 패드 전극과 멀리 이격된 편향기 전극 사이의 배선층의 단면적은 서로 상이하며, 상기 패드 전극과 인접하는 편향기 전극 사이의 배선층을 연결하는 비어 콘택의 두께(높이) 및 직경(단면적)은 상기 패드 전극과 멀리 이격된 편향기 전극 사이의 배선층을 연결하는 비어 콘택의 두께(높이) 및 직경(단면적)과 서로 상이한 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 패드 전극과 인접하는 편향기 전극 사이의 배선층의 단면적은 상기 패드 전극과 멀리 이격된 편향기 전극 사이의 배선층의 단면적 보다 좁고,상기 패드 전극과 인접하는 편향기 전극 사이의 배선층을 연결하는 비어 콘택은 상기 패드 전극과 멀리 이격된 편향기 전극 사이의 배선층을 연결하는 비어 콘택보다 상대적으로 얇은 두께(높이)를 가지면서, 상대적으로 큰 직경(단면적)을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 각 배선층의 단면적 및 상기 각 비어 콘택의 두께 및 직경은 각 배선층의 RC 신호 지연 차이가 10-12 초 이하가 되도록 설계되는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 LTCC 기판 후면에 상기 편향기 전극과 대응되도록 후방 편향기 전극이 더 부착되는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자 빔 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 편향기 전극이 형성되는 LTCC 기판에 제 1 홀이 더 형성되어 있으며, 상기 편향기 전극은 상기 제 1 홀의 가장자리 부분을 일부 가리도록 부착되어, 전자빔이 관통하는 제 2 홀이 한정되는 것을 특징으로 하는 마이크로 컬럼 전자빔 장치
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