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기판 위에 코어 영역이 될 적어도 하나 이상의 양각패턴이 형성된 광도파로 제작용 마스터를 형성하는 제 1 단계와,상기 양각패턴과 수직되는 상기 광도파로 제작용 마스터의 양쪽 면의 소정영역을 경사면을 갖도록 연마하는 제 2 단계와,상기 경사면의 연마가 완료된 상기 광도파로 제작용 마스터를 상기 양각패턴과 평행하게 양쪽 부분으로 절단하여 양각패턴 및 경사면을 갖는 1개의 메인 마스터와, 양각패턴 없이 경사면만을 갖는 2개의 제 1, 2 서브 마스터를 형성하는 제 3 단계와,상기 메인 마스터의 경사면의 양측으로 상기 제 1 서브 마스터 및 제 2 서브 마스터의 경사면이 서로 마주보도록 겹쳐서 고정시켜 경사면을 갖는 광도파로 제작용 마스터를 형성하는 제 4 단계와,상기 경사면을 갖는 광도파로 제작용 마스터 위에 PDMS(Poly-Dimethal-Siloxane)를 부어 유리 쉬트를 덮고 열 경화하여 분리함으로서, 도파로가 경사면을 갖고 음각으로 형성된 PDMS 마스터를 제작하는 제 5 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 단계는포토리소그라피 공정을 이용하여 채널을 형성하기 위한 마스크를 형성하는 단계와,상기 형성된 마스크를 이용하여 딥(Deep) RIE(Reactive Ion Etching) 공정 및 건식식각 공정을 이용하여 기판 위에 양각패턴을 갖는 광도파로 제작용 마스터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 광도파로 제작용 마스터는 상기 양각패턴에 이웃하는 음각 영역의 너비가 상기 양각패턴 양각 영역의 너비보다 더 넓게 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 상기 양각패턴과 평행한 위치인 양측으로 상기 광도파로 제작용 마스터로 사용되는 너비보다 2
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제 1 항에 있어서,상기 경사면은 30°~60°의 경사각을 갖는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 단계는 45° 경사면 전용 지그를 이용하여 연마종이로 연마하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 연마는 경사면이 거울면이 될 때까지 연마하여 향후 반사손실이 없도록 하는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 4 단계는 유리 판 위에 상기 메인 마스터와 서브 마스터를 올려놓고 현미경을 이용하여 각 경면의 높이를 일치시키는 단계와,상기 서브 마스터의 후미를 순간 접착제를 이용하여 바닥에 고정시켜 경사면을 갖는 광도파로 제작용 마스터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터의 제조방법
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양측면에 형성된 경사면과 상면에 적어도 하나의 음각 패턴을 갖는 메인 마스터; 및적어도 일측면에 서브 마스터 경사면이 형성된 제1 및 제2 서브 마스터를 포함하며, 상기 양측면에 형성된 메인 마스터의 경사면과 상기 제1 서브 마스터 및 상기 제2 서브 마스터에 형성된 상기 서브 마스터 경사면이 서로 마주보도록 겹쳐서 일체형으로 연결하는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터
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제 9 항에 있어서,상기 경사면은 30°~ 60°의 경사각을 갖는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터
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제 9 항에 있어서,상기 메인 마스터, 상기 제1 및 제2 서브 마스터는 PDMS(Poly-Dimethal-Siloxane)로 구성되는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터
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제 9 항에 있어서,상기 음각패턴은 광도파로 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 광도파로 마스터
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