| 1 |
1
소정 부분에 탄성부를 구비하는 유연힌지(flexure hinge)와; 상기 유연힌지를 지지하고 유연힌지의 탄성부에 소정의 힘을 전달하는 지지대와; 상기 지지대와 대응되는 위치에서 상기 유연힌지와 연결되는 요크와; 상기 요크로부터 일 방향으로 돌출되어 구비되는 마그네트와; 상기 지지대 상에 고정되며 상기 마그네트와 중첩되는 형태로 구비되는 코일을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 구동 헤드
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 유연 힌지의 탄성부는 휨을 원활하게 하기 위해 형성되는 홈 형성 영역임을 특징으로 하는 구동 헤드
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 홈은 원형 또는 V 형 또는 U 형 중 하나의 형태로 형성됨을 특징으로 하는 구동 헤드
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 유연 힌지의 탄성부는 상기 지지대와 연결되는 유연 인지의 하단에 형성됨을 특징으로 하는 구동 헤드
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 요크에 구비되는 마그네트는 막대 또는 원통 형태의 영구자석으로 구성됨을 특징으로 하는 구동헤드
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 코일은 상기 마그네트와 중첩되도록, 마그네트의 내측 또는 외측을 둘러싸는 형태로 구성됨을 특징으로 하는 구동헤드
|
| 7 |
7
시료 상에 위치 되는 탐침;상기 탐침을 이동시키기 위한 캔티레버;상기 캔티레버의 휨 정도에 따라 전기전도도가 변화되는 휨 감지부;상기 휨 감지부로부터 제공되는 전기전도도에 따라 제어신호를 출력하는 제어부;상기 제어신호에 따라 상기 탐침과 상기 시료 간의 간격을 일정하게 유지시키기 위해 상기 캔티레버를 상,하로 이동시키는 구동 헤드; 및상기 시료를 이동시키기 위한 스캐너를 포함하며,상기 구동 헤드는, 상기 캔티레버에 연결되며 소정 부분에 탄성부를 구비하는 유연힌지(flexure hinge)와; 상기 유연힌지를 지지하고 유연힌지의 탄성부에 소정의 힘을 전달하는 지지대와; 상기 지지대와 대응되는 위치에서 상기 유연힌지와 연결되는 요크와; 상기 요크로부터 일 방향으로 돌출되어 구비되는 마그네트와; 상기 지지대 상에 고정되며 상기 마그네트와 중첩되는 형태로 구비되는 코일을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 개인용 원자 현미경
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서, 상기 휨 감지부는 상기 캔티레버에 압전저항 특성을 갖는 이온이 도핑된 층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 개인용 원자현미경
|
| 9 |
9
제 7 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 전기전도도에 따른 전압신호를 출력하는 전압 발생부; 및상기 전압신호에 따른 소정의 전류량을 갖는 상기 제어신호를 출력하는 액튜에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 개인용 원자현미경
|
| 10 |
10
제 7 항에 있어서, 상기 스캐너는 중앙에 형성된 사각 형태의 제 1 개구부 및 상기 제 1 개구부의 각 모서리부에 형성된 사각 형태의 제 2 개구부들을 갖는 프레임;상기 제 1 개구부 내에 위치되는 스테이지; 및 상기 제 2 개구부 내에 각각 위치되며, 마주보는 두 모서리부가 상기 스테이지 및 상기 프레임에 연결되고, 중앙에는 사각 형태의 제 3 개구부가 형성된 유연 힌지들을 포함하며,상기 스테이지가 x 축 및 y 축 방향으로 이동함에 따라 상기 유연 힌지를 구성하는 유연힌지부들이 각각 y 축 및 x 축 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 개인용 원자현미경
|
| 11 |
11
제 10 항에 있어서, 상기 유연 힌지는 상기 제 2 개구부 외측의 프레임과 소정 간격 이격되어 각 변의 4부분에 서로 연결된 제 1 내지 제 4 유연힌지부로 구성됨을 특징으로 하는 개인용 원자 현미경
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 4 유연힌지부의 끝단 너비가 중앙부보다 좁게 형성되도록 상기 끝단에 다수의 원형 구멍이 형성됨을 특징으로 하는 개인용 원자 현미경
|
| 13 |
13
제 10 항에 있어서, 상기 스테이지는 보이스 코일 모터(VCM)에 의해 x 축 및 y 축 방향으로 이동하며, 상기 스테이지의 x 축 및 y 축 이동에 따라 상기 유연 힌지를 구성하는 제 1 내지 제 4유연힌지부가 서로 마주보며 각각 y 축 및 x 축 방향으로 회전됨을 특징으로 하는 개인용 원자 현미경
|
