| 1 |
1
a) 반도체층 상에 부양되는 와이어 형태의 나노갭 형성부와 상기 나노갭 형성부의 길이방향의 양단부를 지지하는 지지부를 구비하는 나노 구조물을 배치하는 단계;b) 상기 나노 구조물과 교차되도록 적어도 하나의 개구패턴이 형성된 마스크층을 형성하는 단계,c) 상기 개구패턴을 통해 노출되는 상기 반도체층 상에 금속을 증착하여 전극을 형성하되, 상기 나노 구조물에 의해 상기 나노 구조물 하부에 나노갭이 형성되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 단계 a)는적층 구조의 제 1 및 제 2 반도체층을 형성하는 단계,상기 제 2 반도체층을 패터닝하여 나노 구조물을 형성하는 단계,상기 나노 구조물이 지지되는 상태로 상기 나노 구조물 하부의 상기 제 1 반도체층을 소정 두께 제거하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 반도체층은 서로 다른 식각비를 갖는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 4 |
4
제 2 항에 있어서, 상기 제 1 반도체층은 습식 식각으로 제거하는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 지지부가 상기 나노갭 형성부보다 넓게 형성된 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 마스크층은 감광물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 금속은 금, 은, 구리 및 알루미늄 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서, 상기 금속은 상기 나노 구조물을 중심으로 양측에서 소정의 경사각으로 증착하는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서, 상기 나노갭의 폭은 상기 나노 구조물의 폭, 상기 나노 구조물의 높이 및 상기 금속의 증착 각도 중 적어도 어느 하나에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
| 11 |
11
제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제6항, 제7항, 제8항, 제9항 및 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크층은 다수의 개구패턴이 소정 간격으로 형성된 스트라이프 어레이인 것을 특징으로 하는 나노갭 전극소자의 제작 방법
|
