요약 | 본 발명은 유기발광소자 및 그 제조방법과 화소 전극용 무기절연막 형성방법에 관한 것으로, 본 유기발광소자의 제조방법은 플렉서블 가능한 기판상에 화소 전극을 형성하는 단계; 상기 화소 전극 상에 무기 절연막을 형성하는 단계; 상기 화소 전극이 노출되도록 상기 무기 절연막을 패터닝하는 단계; 상기 무기절연막이 노출된 상기 화소 전극 상에 발광층을 형성하는 단계; 및 상기 발광층 상에 대향 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 기존의 발광소자에 비해 투습도, 투산소도를 높일 수도 있으며, 화학적 안정성을 증가시킬 수 있음으로 저온에서 절연막 상에 격벽을 형성할 때 절연막이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 유기발광소자, 무기 절연막, 원자층 증착법 |
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Int. CL | H05B 33/04 (2006.01) H05B 33/10 (2006.01) |
CPC | H01L 51/5253(2013.01) H01L 51/5253(2013.01) H01L 51/5253(2013.01) H01L 51/5253(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020060015362 (2006.02.17) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | 10-0750591-0000 (2007.08.13) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20070820) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020050119110 | 2005.12.07
|
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | 심판사항 |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2006.02.17) |
심사청구항수 | 14 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국전자통신연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 박상희 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 추혜용 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
3 | 황치선 | 대한민국 | 대전 대덕구 |
4 | 이정익 | 대한민국 | 경기도 수원시 권선구 |
5 | 도이미 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
6 | 양용석 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
7 | 정승묵 | 대한민국 | 경기 수원시 영통구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 신영무 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국전자통신연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 Patent Application |
2006.02.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0116421-50 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2006.09.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2006.10.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-2006-0063895-09 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2006.12.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0721713-58 |
5 | 의견서 Written Opinion |
2007.01.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0086589-07 |
6 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2007.01.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0086569-94 |
7 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2007.06.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0309674-46 |
8 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2007.07.03 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2007-0027006-80 |
9 | 등록결정서 Decision to grant |
2007.08.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0435085-31 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.08.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5150899-36 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006137-44 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 플렉서블 가능한 기판상에 화소 전극을 형성하는 단계;상기 기판과 상기 화소 전극 상에 무기 절연막인 알루미나 박막을 형성하는 단계;상기 화소 전극이 적어도 부분적으로 노출되도록 알루미나 박막을 패터닝하는 단계;상기 무기 절연막이 노출된 상기 화소 전극 상에 발광층을 형성하는 단계; 및상기 발광층 상에 대향 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광소자의 제조방법 |
2 |
2 제1항에 있어서,상기 알루미나 박막을 형성하는 단계에서는 원자층 증착법을 이용하는 유기발광소자의 제조방법 |
3 |
3 제2항에 있어서,상기 원자층 증착법을 이용하여 상기 알루미나 박막을 증착하는 경우, 상온에서부터 100℃의 온도 범위에서 증착하는 유기발광소자의 제조방법 |
4 |
4 제3항에 있어서, 상기 알루미나 박막은 트리메칠 알루미늄(TMA)을 전구체로 사용하여 상기 원자증착법으로 형성되는 유기발광소자의 제조방법 |
5 |
5 제4항에 있어서,상기 알루미나 박막의 두께는 50nm ~ 100nm 범위에서 선택되어 형성되는 유기발광소자의 제조방법 |
6 |
6 제1항에 있어서,상기 알루미나 박막을 패터닝하는 단계는 염기성 용액을 사용하여 상기 화소 전극 상에 형성된 상기 알루미나 박막을 식각하여 형성하는 유기발광소자의 제조방법 |
7 |
7 제1항에 있어서,상기 알루미나 박막 상에 측벽을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기 발광소자의 제조방법 |
8 |
8 제1항에 있어서, 상기 플렉서블 가능한 기판은 플라스틱 기판, 금속 기판 및 유리섬유 기판 중 하나를 이용하는 유기발광소자의 제조방법 |
9 |
9 플렉서블 가능한 기판상에 형성되는 화소 전극;상기 화소 전극을 노출시키며, 상기 기판과 상기 화소 전극 상에 형성되는 알루미나 박막;상기 화소 전극 상에 형성되는 발광층; 및상기 발광층 상에 형성되는 대향 전극을 포함하는 유기 발광소자 |
10 |
10 제9항에 있어서, 상기 알루미나 박막은 원자층 증착법으로 형성되는 유기 발광소자 |
11 |
11 제10항에 있어서, 상기 알루미나 박막은 TMA를 알루미늄 전구체로 사용하여 소정 두께로 형성되는 유기 발광소자 |
12 |
12 제10항에 있어서, 상기 노출된 화소 전극을 가리지 않으며 상기 알루미나 박막 상에 형성되는 측벽을 더 포함하는 유기발광소자 |
13 |
13 원자층 증착법을 이용하여 플렉서블 가능한 기판 상에 트리메칠 알루미늄을 전구체로 사용하며 50 ~ 100nm 두께 범위에서 형성되는 알루미나 박막을 이용하여 화소 전극용 무기절연막을 형성하는 방법 |
14 |
14 삭제 |
15 |
15 삭제 |
16 |
16 제13항에 있어서,상기 알루미나 박막은 상온에서부터 100℃의 온도에서 증착하는 화소 전극용 무기절연막을 형성하는 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
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공개전문 정보가 없습니다 |
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특허 등록번호 | 10-0750591-0000 |
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표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20060217 출원 번호 : 1020060015362 공고 연월일 : 20070820 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20070809 청구범위의 항수 : 6 유별 : H05B 33/04 발명의 명칭 : 유기 발광 소자 및 그 제조방법과 화소 전극용 무기절연막 형성방법 존속기간(예정)만료일 : 20130814 |
순위번호 | 사항 |
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1 |
(권리자) 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 418,500 원 | 2007년 08월 13일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 348,000 원 | 2010년 08월 02일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 348,000 원 | 2011년 07월 29일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 348,000 원 | 2012년 07월 30일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 | 2006.02.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0116421-50 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2006.09.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2006.10.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-2006-0063895-09 |
4 | 의견제출통지서 | 2006.12.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0721713-58 |
5 | 의견서 | 2007.01.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0086589-07 |
6 | 명세서등보정서 | 2007.01.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0086569-94 |
7 | 거절결정서 | 2007.06.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0309674-46 |
8 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2007.07.03 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2007-0027006-80 |
9 | 등록결정서 | 2007.08.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0435085-31 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.08.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5150899-36 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006137-44 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1440001097 |
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세부과제번호 | 2004-S-086 |
연구과제명 | 플렉서블디스플레이 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 정보통신연구진흥원 |
연구주관기관명 | 한국전자통신연구원 |
성과제출연도 | 2005 |
연구기간 | 200302~200801 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1440001097 |
---|---|
세부과제번호 | 2004-S-086 |
연구과제명 | 플렉서블디스플레이 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 정보통신연구진흥원 |
연구주관기관명 | 한국전자통신연구원 |
성과제출연도 | 2005 |
연구기간 | 200302~200801 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
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1 | 2007101007368 | 2007원7368 | 2006년 특허출원 제0015362호 거절결정불복심판 | 2007.07.03 | 2007.08.09 |