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아연 산화물을 이용하는 가스 감지기 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015081775
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 표면에 금속 아일랜드가 형성된 아연산화물 나노 구조물을 이용하는 가스 감지기 및 그 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 가스 감지기는 아연 산화물 나노 구조물과, 상기 나노 구조물의 표면에 코팅되어 있고 상호 분리되어 있는 복수의 금속 아일랜드를 포함한다. 상기 아연 산화물 나노 구조물의 양단부에는 제1 전극 및 제2 전극이 전기적으로 연결되어 있으며, 제1 전극 및 제2 전극에 흐르는 전류량 변화를 측정하기 위하여 제1 전극 및 제2 전극에는 전류 변화 측정부가 연결되어 있다. 아연 산화물 나노 구조물의 표면에 상호 분리되어 있는 복수의 금속 아일랜드를 습식 공정으로 형성하기 위하여 금속 원료가 녹아 있는 용액 내에서 아연 산화물 나노 구조물의 표면에 상기 금속 원료중의 금속 성분을 코팅한다. 아연 산화물, 나노 구조물, 금속 아일랜드, 가스 감지
Int. CL G01N 27/12 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020060067095 (2006.07.18)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0779090-0000 (2007.11.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.07.18)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박래만 대한민국 대전 유성구
2 김상협 대한민국 대전 서구
3 박종혁 대한민국 대구 동구
4 맹성렬 대한민국 충북 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 씨케이머티리얼즈랩 경기도 안산시 단원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0510719-92
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.03.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0024670-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0236646-88
5 의견서
Written Opinion		 2007.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0410180-05
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0410182-96
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0587175-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
기판상에 형성된 아연 산화물 나노 구조물과, 상기 나노 구조물의 표면에 코팅되어 있고 상호 분리되어 있는 복수의 금속 아일랜드와, 상기 기판을 통해 상기 아연 산화물 나노 구조물의 일단에 전기적으로 연결되어 있는 제1 전극과, 상기 아연 산화물 나노 구조물의 타단에 전기적으로 연결되어 있는 제2 전극과, 상기 제1 전극 및 제2 전극에 흐르는 전류량 변화를 측정하기 위하여 상기 제1 전극 및 제2 전극에 각각 전기적으로 연결되어 있는 전류 변화 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감지기
2 2
제1항에 있어서, 상기 나노 구조물은 나노와이어 (nano-wire) 또는 나노로드 (nano-rod) 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 가스 감지기
3 3
제1항에 있어서, 상기 금속 아일랜드는 백금 (Pt), 팔라듐 (Pd), 니켈 (Ni) 및 코발트 (Co) 로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 가스 감지기
4 4
제1항에 있어서, 상기 금속 아일랜드는 10 ∼ 50 nm인 입경 사이즈를 가지는 것을 특징으로 하는 가스 감지기
5 5
제1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 가스 감지기
6 6
금속 원료가 녹아 있는 용액 내에서 아연 산화물 나노 구조물의 표면에 상기 금속 원료중의 금속 성분을 코팅하여 상기 아연 산화물 나노 구조물의 표면에 상호 분리되어 있는 복수의 금속 아일랜드를 형성하는 단계와, 상기 아연 산화물 나노 구조물의 양 단부에 각각 전기적으로 연결되는 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 제1 전극 및 제2 전극을 형성하기 전에, 상기 복수의 금속 아일랜드가 형성되어 있는 상기 아연 산화물 나노 구조물의 표면으로부터 수분을 증발시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
8 8
제6항에 있어서, 상기 용액은 상기 금속 원료가 녹아 있는 왕수로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 용액은 증류수 및 염기성 용액중에서 선택되는 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
10 10
제6항에 있어서, 상기 금속 원료는 금속 파우더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
11 11
제6항에 있어서, 상기 금속 원료는 금속 유기물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 금속 원료는 H2PtCl6, MeCpPtMe3, Pt(acac)2, Pd2(C3H5)2Cl2, 및 Pd(C3H5)(C5H5) (식중, Me = methyl, Cp = cyclopentadienyl, acac = acetyl-acetone )로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
13 13
제6항에 있어서, 상기 복수의 금속 아일랜드를 형성하는 동안 상기 용액을 30 ∼ 100 ℃의 온도로 유지하는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
14 14
제6항에 있어서, 상기 용액 내에서의 금속의 농도는 상기 용액의 총 중량을 기준으로 1 ∼ 70 중량%인 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
15 15
제6항에 있어서, 상기 복수의 금속 아일랜드를 형성하기 위하여 상기 아연 산화물 나노 구조물을 상기 용액 내에 1 초 ∼ 1 분 동안 담그는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
16 16
제6항에 있어서, 상기 복수의 금속 아일랜드를 형성하기 전에 기판상에 상기 아연 산화물 나노 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 복수의 금속 아일랜드를 형성하는 단계에서는 상기 아연 산화물 나노 구조물이 형성되어 있는 기판을 상기 용액 내에 담그는 것을 특징으로 하는 가스 감지기의 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02044424 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02044424 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 US08087151 US 미국 FAMILY
4 US20100012919 US 미국 FAMILY
5 WO2008010638 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2044424 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2044424 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2044424 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 US2010012919 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US8087151 US 미국 DOCDBFAMILY
6 WO2008010638 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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