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(a) CNT 파우더, 유기 바인더, 감광물질, 모노모 및 나노 크기의 금속입자를 용매에 분산시켜 CNT페이스트를 제조하는 단계;(b) 상기 CNT 페이스트를 기판의 상부에 형성된 전극 상에 도포하는 단계;(c) 상기 전극 상에 도포된 상기 CNT 페이스트를 노광하여 미세 패터닝하는 단계;(d) 상기 미세 패터닝된 CNT 페이스트를 소성하는 단계;(e) 상기 소성된 CNT 페이스트의 표면이 활성화되도록 상기 CNT 페이스트의 표면을 처리하는 단계를 포함하는 CNT 에미터 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 (c) 단계에서, 상기 CNT 페이스트를 5 ㎛ × 5 ㎛ 정도의 크기로 미세 패터닝하는 CNT에미터 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 모노머는 상기 CNT 페이스트를 노광하여 미세 패터닝하기 위해 첨가되며, 상기 감광물질과 반응하여 상기 유기 바인더와 고분자 중합을 일으키는 물질인 CNT에미터 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 모노머의 질량은 상기 유기 바인더 대비 1/100 ~ 1/10 범위로 첨가하는 CNT에미터 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 감광물질의 질량은 상기 유기 바인더 대비 1/10 ~ 1/100 범위로 첨가하는 CNT에미터 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 CNT 파우더와 상기 금속 입자는 질량 백분율(wt%)이 1 : 2 ~ 3의 조성으로 이루어진 CNT에미터 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계는,대기 분위기에서 약 250 ~ 300℃ 온도로 행해지는 소성 단계와, 진공 또는 비활성가스 분위기에서 약 320 ~ 450℃ 온도에서 행해지는 소성 단계중 적어도 하나를 포함하는 CNT 에미터 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (e)는 접착제가 묻어 나오지 않도록 롤링 처리하는 것을 특징으로 하는 CNT 에미터의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계 (a)는 상기 CNT 파우더를 용매에 분산시키는 단계, 상기 CNT 파우더가 혼합된 분산용액에 상기 유기 바인더를 첨가하는 단계,상기 유기 바인더가 혼합된 상기 분산용액의 점도를 조절하기 위해 밀링 공정을 수행하는 단계,상기 나노 크기의 금속 입자를 첨가하는 단계, 및 상기 분산용액에 상기 감광물질과 모노머를 첨가하는 단계를 포함하는 CNT에미터 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 금속입자는 파우더나 페이스트 형태로 첨가되는 CNT 페이스트의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 금속 입자는 Ag, Cu, Ru, Ti, Pd, Zn, Fe 또는 Au 인 것을 특징으로 하는 CNT에미터 제조 방법
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