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유한한 폭과 두께를 가지는 물질로 형성된 제1 박막과 상기 제1 박막의 폭과 동일하고 상기 제1 박막을 이루는 물질보다 전기전도도가 작은 물질들로 형성된 제2 박막이 차례로 적층되는 3층 이상의 홀수의 적층 구조를 가지며, 상기 제1 박막이 처음층과 마지막층에 위치하고 상기 제1 박막들이 표면 플라즈몬들의 상호 작용을 위해 근접 배치되는 코어; 및상기 코어의 주위에 상기 제1 박막을 형성한 물질보다 전기전도도가 작고 상기 제2 박막을 형성한 물질보다 굴절률이 큰 물질로 형성된 클래드를 포함하는 광도파로 소자
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유한한 폭과 두께를 가지는 물질로 형성된 제1 박막과 상기 제1 박막의 폭보다 크거나 작은 크기의 폭을 가지며 상기 제1 박막을 이루는 물질보다 전기전도도가 작은 물질들로 형성된 제2 박막이 차례로 적층되는 3층 이상의 홀수의 적층 구조를 가지며, 상기 제1 박막이 처음층과 마지막층에 위치하고 상기 제1 박막들이 표면 플라즈몬들의 상호 작용을 위해 근접 배치되는 코어; 및상기 코어의 주위에 상기 제1 박막을 형성한 물질보다 전기전도도가 작고 상기 제2 박막을 형성한 물질보다 굴절률이 큰 물질로 형성된 클래드를 포함하는 광도파로 소자
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3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제1 박막의 폭은 수 ㎚에서 수백 ㎛이고 두께는 수 ㎚에서 수백 ㎚의 크기를 갖는 광도파로 소자
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 박막의 폭은 수 ㎚에서 수백 ㎛이고 두께는 수 ㎚에서 수십 ㎛의 크기를 갖는 광도파로 소자
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제1 박막은 금, 은, 구리, 알루미늄, n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 GaAs, Inp, Si 중 어느 한 물질, 상기 물질들의 조합에 의한 복합물질, 및 상기 물질들을 조합하여 적층한 다층구조물 중 어느 하나를 포함하여 이루어지는 광도파로 소자
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6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 박막과 상기 클래드가 유리, 석영, 폴리머, n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 GaAs, Inp, Si 중 어느 한 물질, 상기 물질들의 조합에 의한 복합물질, 및 상기 물질들을 조합하여 적층한 다층구조물 중 어느 하나를 포함하여 이루어지는 광도파로 소자
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7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 박막과 상기 클래드 중 하나가 액체로 형성되는 광도파로 소자
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8
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 코어는 직선, 곡선, 테이퍼 모양 중 어느 하나의 모양을 갖는 광도파로 소자
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9
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 코어는 Y-branch, Mach-Zender 간섭계 및 방향성 결합기 중 어느 하나의 구조를 갖는 광도파로 소자
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10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 박막은 전기광학 효과를 갖는 물질로 형성되고 상기 제1 박막들이 상기 제2 박막에 전장을 인가할 수 있는 전극으로 사용되는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자
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11
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 박막과 상기 클래드 중 하나 이상이 열광학 효과를 갖는 물질로 형성되고 상기 제1 박막들 중 하나 이상이 열선으로 사용되는 광도파로 소자
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12
유한한 지름과 두께를 가지는 물질로 형성된 원통과 상기 원통 안이 채워지며 상기 원통을 이루는 물질보다 전기전도도가 작은 물질로 이루어지고 상기 원통이 표면 플라즈몬의 상호 작용을 위한 직경을 구비하는 코어; 및상기 코어의 주위에 상기 원통을 형성한 물질보다 전기전도도가 작고 상기 원통 안에 채워진 물질보다는 굴절률이 큰 물질로 형성된 클래드를 포함하는 광도파로 소자
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13
제 12 항에 있어서, 상기 코어의 두께는 수 ㎚에서 수백 ㎛이고, 상기 코어의 직경은 수 ㎚에서 수십 ㎛의 크기를 갖는 광도파로 소자
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14
제 12 항에 있어서, 상기 코어는 금, 은, 구리, 알루미늄, n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 GaAs, Inp, Si 중 어느 한 물질, 상기 물질들의 조합에 의한 복합물질, 및 상기 물질들을 조합하여 적층한 다층구조물 중 어느 하나를 포함하여 이루어지는 광도파로 소자
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15
제 12 항에 있어서, 상기 클래드는 유리, 석영, 폴리머, n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 GaAs, Inp, Si 중 어느 한 물질, 상기 물질들의 조합에 의한 복합물질, 및 상기 물질들을 조합하여 적층한 다층구조물 중 어느 하나를 포함하여 이루어지는 광도파로 소자
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