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반도체 RF 수동 부품의 내전력을 시험하는 방법에 있어서,상기 반도체 RF 수동 부품에 대한 고장 판정 기준을 설정하고, 시험 전력을 시작 전력 레벨에서 일정 시간 및 일정 간격으로 증가시키면서 상기 반도체 RF 수동 부품의 전기적인 특성을 모니터링하여 시험 주파수 및 최대 시험 전력 레벨을 확인하는 예비 시험 단계;상기 시험 전력을 상기 시작 전력 레벨에서 상기 최대 시험 전력 레벨까지 각 단계별 시험 전력을 일정 시간 동안 유지하면서 상기 시험 주파수를 이용하여 상기 반도체 RF 수동 부품의 전기적인 특성을 모니터링하는 내전력 시험 단계; 및상기 내전력 시험 단계에서 상기 반도체 RF 수동 부품의 전기적인 특성 값이 상기 고장 판정 기준을 벗어나는 경우, 상기 내전력 시험을 종료하고 시험 데이터를 저장하는 단계를 포함하는 내전력 시험 방법
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제1항에 있어서,상기 예비 시험 단계 이전에 상기 반도체 RF 수동 부품으로 입력되는 전력 레벨과 상기 반도체 RF 수동 부품으로부터 출력되는 전력 레벨을 입력되는 소정의 시험 전력 레벨과 비교하여 보상하는 단계를 더 포함하는 내전력 시험 방법
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반도체 RF 수동 부품의 내전력을 시험하는 시스템에 있어서,입력되는 시험 주파수로부터 발생된 지속파 신호를 시험하고자 하는 전력 레벨로 증폭하는 고전력 증폭기;상기 반도체 RF 수동 부품으로 입력되는 전력 레벨과 상기 반도체 RF 수동 부품으로부터 출력되는 전력 레벨을 모니터링하는 전력 메터;상기 반도체 RF 수동 부품으로 입력되는 전력 레벨로부터 상기 반도체 RF 수동 부품의 전기적인 특성을 측정하는 네트워크 분석기; 및시험 전력을 시작 전력 레벨에서 일정 시간 및 일정 간격으로 증가시키면서 상기 반도체 RF 수동 부품의 전기적인 특성을 모니터링하여 상기 시험 주파수 및 최대 시험 전력 레벨을 설정한 후, 상기 시작 전력 레벨에서 상기 최대 시험 전력 레벨까지 각 단계별 상기 시험 전력을 일정 시간 동안 유지하면서 상기 시험 주파수를 이용하여 상기 RF 수동 부품의 전기적인 특성을 모니터링하여 상기 반도체 RF 수동 부품의 내전력 시험을 수행하는 제어 분석 컴퓨터를 포함하는 내전력 시험 시스템
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제5항에 있어서,입력단이 상기 반도체 RF 수동 부품에 연결되어 있고 출력단이 상기 네트워크 분석기 또는 상기 고전력 증폭기에 연결되어 있는 제1 스위치;입력단이 상기 반도체 RF 수동 부품에 연결되어 있고 출력단이 상기 네트워크 분석기 또는 상기 전력 메터에 연결되어 있는 제2 스위치; 및상기 제어 분석 컴퓨터의 제어에 따라서 상기 제1 및 제2 스위치를 제어하는 제어기를 더 포함하는 내전력 시험 시스템
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