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전기 도금 장치

  • 기술번호 : KST2015082627
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조 공정에서 금속배선을 형성하기 위해 사용되는 전기 도금 장치에 관한 것으로, 비아 홀 내부에서 발생되는 기포가 비아 홀 내부로부터 잘 빠져나가 도금이 균일하게 될 수 있는 전기 도금 장치를 제공한다. 이를 위해, 본 발명에 따른 전기 도금 장치는 외관을 형성하고 내부에는 도금액이 포함되는 도금조; 상기 도금조 내부에 위치하고 도금 금속과 같은 종류로 이루어진 금속궤; 상기 도금조 내부에서 상기 금속궤와 대향하여 위치하고 피도금체를 안착시키기 위한 경사형 전극링; 상기 금속궤를 고정시키는 금속궤 고정틀; 상기 경사형 전극링을 고정시키는 전극링 고정틀; 상기 금속궤 및 경사형 전극링에 연결되는 전원 공급 단자; 및 상기 도금액을 유동시키기 위한 초음파 생성부를 포함한다.그럼으로써, 본 발명에 따른 전기 도금 장치는 초음파를 발생시켜 도금액을 유동시킴으로써 도금시 피도금체인 웨이퍼 표면으로부터 발생하는 기포가 더욱 쉽게 떨어져 나가게 함으로써 도금막 두께의 균일도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 전기 도금 장치, 초음파
Int. CL C25D 17/00 (2006.01)
CPC C25D 5/20(2013.01) C25D 5/20(2013.01) C25D 5/20(2013.01) C25D 5/20(2013.01) C25D 5/20(2013.01)
출원번호/일자 1020070045757 (2007.05.11)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0052189 (2008.06.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020060122560   |   2006.12.05
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.11)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주철원 대한민국 대전 유성구
2 민병규 대한민국 대전 유성구
3 이종민 대한민국 대전 서구
4 김성일 대한민국 대전 서구
5 이경호 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0348783-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0017516-77
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0212033-94
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2008.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0520746-19
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외관을 형성하고 내부에는 도금액이 포함되는 도금조;상기 도금조 내부에 위치하고 도금 금속과 같은 종류로 이루어진 금속궤;상기 도금조 내부에서 상기 금속궤와 대향하여 위치하고 피도금체를 안착시키기 위한 경사형 전극링;상기 금속궤를 고정시키는 금속궤 고정틀;상기 경사형 전극링을 고정시키는 전극링 고정틀; 상기 금속궤 및 경사형 전극링에 연결되는 전원 공급 단자; 및상기 도금액을 유동시키기 위한 초음파 생성부를 포함하는 전기 도금 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 초음파 생성부는, 20KHz ~ 80KHz 의 주파수를 출력하는 전기 도금 장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 경사형 전극링에는,피도금체인 웨이퍼를 안착시키기 위한 웨이퍼 홀더가 부착되어 있는 전기 도금 장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 웨이퍼 홀더 중에서 피도금체인 웨이퍼와 접촉되는 부분을 제외한 나머지 전표면 및 상기 경사형 전극링의 전표면에 내약품성 코팅제가 코팅되어 있는 전기 도금 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 금속궤 고정틀 및 전극링 고정틀의 표면은 내약품성 코팅제가 코팅되어 있는 전기 도금 장치
6 6
제 4항 또는 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내약품성 코팅제는 테프론 또는 폴리에틸렌인 전기 도금 장치
7 7
제 1항에 있어서, 상기 전원 공급 단자는 상기 금속궤 고정틀 및 전극링 고정틀의 내부를 통해 상기 금속궤 및 경사형 전극링에 연결되는 전기 도금 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.