요약 |
본 발명은 중심으로부터 방사상으로 형성되며, 상호 전기적으로 절연되며 교대로 형성되어 상호 맞물림 구조를 갖는 복수의 (+) 전극 및 복수의 (-) 전극을 포함하는 전자소자용 전극 구조물 및 이를 이용한 전자 소자에 관한 것이다. 이에 따라, (+)전극과 (-)전극이 방사상으로 교대로 형성된 맞물림 전극 구조물을 형성하여 전자 소자에 채용함으로써, 상부 및 하부에 각각 다른 전극을 갖는 일반적인 전자 소자에 비해 공정을 단순화시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 원형 또는 다각형 맞물림 전극 구조물을 중심을 기준으로 구동되거나 측정되는 장치에 채용함으로써, 성능 및 효율을 더욱 향상시킬 수 있다. 본 발명에 따른 원형 또는 다각형 맞물림 전극 구조물을 음향센서, 압력센서, 마이크로 스피커, 바이오센서, 가속도 센서 등에 사용함으로써, 구조 및 동작을 단순화시킬 수 있다. 맞물림 전극(Inter digitate electrode), 원형, 다각형, 압전, 멤스(MEMS), 센서, 엑츄에이터
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