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기판;
상기 기판 위에 상기 기판과 이격되어 구비되고, 질량 본체와 지지 스프링과 감지 전극을 포함하는 감지 질량체;
상기 감지 질량체를 상기 기판에 결합하는 지지대;
상기 감지 전극에 이웃하고 상기 감지 전극에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 움직일 수 있는 기준 전극;
상기 기준 전극의 움직임을 일으킬 수 있는 구동부; 및
상기 기준 전극의 움직임을 제한할 수 있는 멈추개;
를 포함하는 정전용량형 가속도계
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제 1 항에 있어서, 상기 멈추개의 허용 간극이, 구동부가 구동되지 않았을 때의 상기 감지 전극과 상기 기준 전극 사이의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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3
제 1 항에 있어서, 상기 구동부를 구동하여 상기 기준 전극을 상기 감지 전극 방향으로 최대한 움직였을 때, 상기 기준 전극과 상기 감지 전극 사이의 거리가 0
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제 1 항에 있어서, 상기 감지 전극과 상기 기준 전극이 각각 빗살(comb) 형태를 갖고, 상기 감지 전극의 빗살과 상기 기준 전극의 빗살이 서로 교대로 위치하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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제 1 항에 있어서, 상기 구동부를 구동하지 않았을 때의 상기 기준 전극과 상기 감지 전극 사이의 거리(A)가 상기 구동부를 구동하였을 때의 상기 기준 전극과 상기 감지 전극 사이의 거리(B)와 상기 멈추개의 허용 간극(C)의 합과 동일한 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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제 1 항에 있어서, 상기 구동부가 정전기력을 이용하여 상기 기준 전극을 움직일 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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제 6 항에 있어서, 상기 구동부가 제 1 핑거를 구비하고;
상기 기준 전극이 복수개 구비되고, 복수개의 기준 전극을 연결하는 연결부와 상기 연결부로부터 연장되며 상기 제 1 핑거와 이격되어 맞물리는 제 2 핑거를 구비하는 기준 전극체를 구비하고;
상기 멈추개의 허용간극이, 구동부가 구동되지 않았을 때의 상기 제 1 핑거와 상기 제 2 핑거 사이의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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8
제 1 항에 있어서, 상기 멈추개가 스프링을 통해 상기 기준 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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기판;
상기 기판 위에 고정된 기준 전극;
상기 기판 위에 상기 기판과 이격되어 구비되고, 상기 기준 전극에 이웃하는 감지 전극과 지지 스프링 및 질량 본체를 포함하고, 상기 기준 전극에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 움직일 수 있는 감지 질량체;
상기 감지 질량체의 움직임을 일으킬 수 있는 구동부; 및
상기 구동부에 의한 상기 감지 질량체의 움직임을 제한할 수 있는 멈추개;
를 포함하는 정전용량형 가속도계
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10
제 9 항에 있어서, 상기 멈추개의 허용 간극이, 구동부가 구동되지 않았을 때의 상기 감지 전극과 상기 기준 전극 사이의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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11
제 9 항에 있어서, 상기 구동부를 구동하여 상기 감지 전극을 상기 기준 전극 방향으로 최대한 움직였을 때, 상기 감지 전극과 상기 기준 전극 사이의 거리가 0
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12
제 9 항에 있어서, 상기 감지 전극과 상기 기준 전극이 각각 빗살(comb) 형태를 갖고, 상기 감지 전극의 빗살과 상기 기준 전극의 빗살이 서로 교대로 위치하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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제 9 항에 있어서, 상기 구동부를 구동하지 않았을 때의 상기 기준 전극과 상기 감지 전극 사이의 거리(a)가 상기 구동부를 구동하였을 때의 상기 기준 전극과 상기 감지 전극 사이의 거리(b)와 상기 멈추개의 허용 간극(c)의 합과 동일한 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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14
제 9 항에 있어서, 상기 구동부가 정전기력을 이용하여 상기 감지 질량체를 움직일 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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15
제 14 항에 있어서, 상기 구동부가 제 1 핑거를 구비하고;
상기 감지 질량체가, 상기 지지 스프링으로부터 연장되며 상기 제 1 핑거와 이격되어 맞물리는 제 2 핑거를 더 구비하고;
상기 멈추개의 허용간극이, 구동부가 구동되지 않았을 때의 상기 제 1 핑거와 상기 제 2 핑거 사이의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 정전용량형 가속도계
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16
기판;
상기 기판 위에 상기 기판과 이격되어 형성되는 기준 전극;
상기 기판 위에 상기 기판과 이격되어 형성되는 감지 전극;
상기 기준 전극과 감지 전극의 상대적인 위치를 조절할 수 있는 구동부; 및
상기 구동부의 움직임을 제한할 수 있는 멈추개;
를 포함하는 정전용량형 가속도계
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