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(ⅰ) 절연기판, 상기 절연기판 상부에 설치되는 감지 전극, 및 상기 감지 전극 상부에 형성되는 금속산화물 나노입자 감지막을 포함하는 센서기판;(ⅱ) 시료의 유입과 방출이 가능한 측정 챔버; 및(ⅲ) 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 저온에서 화학종을 감지하기 위한 금속산화물 반도체 화학센서
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제1항에 있어서,상기 저온은 100℃ 미만인 것을 특징으로 하는금속산화물 반도체 화학센서
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제1항에 있어서,상기 절연기판은, 세라믹 센서기판, 부도체 박막으로 표면이 절연된 실리콘 센서기판, 유리 센서기판, 및 플라스틱 센서기판으로 이루어진 군에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서
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제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노입자는 텅스텐, 주석, 인듐, 티타늄, 및 아연 산화물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는금속산화물 반도체 화학센서
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제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노입자는 SnO2, WO3, TiO2, Ta2O5, ZnO, In2O3, 및 In2O3-SnO2로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서
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제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노입자는 100 nm 이하의 입경을 갖는 것을 특징으로 하는금속산화물 반도체 화학센서
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제1항에 있어서,상기 금속산화물 반도체 화학센서는 가열기 및 격리층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서
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제1항에 있어서,상기 광원은 자외선을 발광하는 수은 램프 또는 발광다이오드 소자인 것을 특징으로 하는금속산화물 반도체 화학센서
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제8항에 있어서,상기 수은램프는 350~410 nm 파장의 자외선을 발광하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서
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(ⅰ) 절연기판의 상부에 감지전극을 설치하는 단계; (ⅱ) 상기 감지전극의 상부에 금속산화물 나노입자 감지막을 형성하여 센서기판을 형성하는 단계; (ⅲ) 상기 센서기판을 측정챔버에 장착하는 단계; 및(ⅳ) 상기 측정챔버의 상부에 광원을 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온에서 화학종을 감지하기 위한 금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 제조 방법은 상기 (ii) 단계 이후에,(a) 상기 감지전극과 절연기판의 사이에 가열기를 설치하는 단계; 및(b) 상기 가열기가 설치된 절연기판의 상부와 감지전극 사이에 격리층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 제조 방법은 상기 (ii) 단계 이후에,(a) 상기 감지전극이 형성된 절연기판의 반대면에 가열기를 설치하는 단계; 및(b) 상기 가열기가 설치된 절연기판의 하부에 격리층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속산화물 나노입자 감지막은 상기 감지전극의 상부에 진공 박막증착법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속산화물 나노입자 감지막은 상기 감지전극의 상부에 습식방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 저온은 100℃ 미만인 것을 특징으로 하는금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속산화물 나노입자는 텅스텐, 주석, 인듐, 티타늄, 및 아연 산화물로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속산화물 나노입자는 100 nm 이하의 입경을 갖는 것을 특징으로 하는금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광원은 자외선을 발광하는 수은 램프 또는 발광다이오드인 것을 특징으로 하는금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 수은램프는 350~410 nm 파장의 자외선을 발광하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 화학센서의 제조 방법
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