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프로그래머블 포토마스크;상기 포토마스크 상의 이미지를 축소하여 전달하기 위한 축소형 노광수단; 및상기 축소형 노광 수단에 의한 광합성에 의해 생체분자 또는 고분자 마이크로 어레이를 생성하는 수단을 구비하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 1항에 있어서,상기 프로그래머블 포토마스크는 제어수단에 의해 제어되어 구현된 이미지 패턴을 갖는 LCD 포토마스크인 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 2항에 있어서,상기 LCD 포토마스크는,이미지가 구현되는 패널; 및상기 패널의 상하부에 형성된 편광판을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 3항에 있어서,상기 편광판은 330nm ~ 370nm 범위의 파장영역에서 편광특성을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 2항에 있어서,상기 LCD 포토마스크는 컬러필터가 포함되지 않은 LCD를 사용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 1항에 있어서,상기 축소형 노광 수단은,임의의 파장을 갖는 UV광을 발생시키는 광원;상기 광원으로부터 발산된 UV광의 특정파장영역만을 선별하고, 상기 UV광의 진행방향을 제어하기 위한 복수의 반사 미러;상기 반사 미러 사이에 위치하고, 상기 UV광을 평행하게 진행시키고 공간적으로 빛의 세기를 균일하게 만들어 주기 위한 호모지나이져(homogenizer);상기 반사 미러 사이에 위치하고, 상기 UV광을 집속하는 콘덴서 렌즈; 및상기 포토마스크를 통과한 UV광의 크기를 특정 비율로 축소해주는 광학렌즈세트를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 6항에 있어서,상기 광원은 수은램프인 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 6항에 있어서,상기 광원은 일측에서 발생된 UV광을 집광시켜 타측으로 발산하기 위한 타원 미러(elliposidal mirror)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 6항에 있어서,상기 반사 미러는 350nm ~ 365nm 범위의 파장영역만을 반사하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 1항에 있어서,상기 마이크로 어레이를 생성하는 수단은,유리기판; 및상기 유리기판 하부에 위치하여 합성반응용액이 채워지는 합성반응용기를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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제 10항에 있어서,상기 합성반응용액은 포스포라미다이트(phosphoramidite), 세정액, 커플링 엑티베이터(coupling activator) 및 산화제(oxidizer)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성 장치
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프로그래머블 포토마스크 및 축소노광장치를 사용한 광합성반응을 이용하여, 상기 프로그래머블 포토마스크 상의 패턴이미지보다 축소된 이미지로서, 생체분자 또는 고분자 마이크로 어레이를 기판 상에 형성하는 마이크로 어레이 형성방법
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제 12항에 있어서,상기 프로그래머블 포토마스크 상의 패턴이미지를 소프트웨어에 의해 원하는 이미지로 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 형성방법
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