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유기 절연막 및 그 형성 방법, 이를 이용한 유기 박막트랜지스터

  • 기술번호 : KST2015082899
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유기 게이트 절연막 및 그 형성 방법, 이를 이용한 유기 박막 트랜지스터가 제공된다. 상기 유기 박막 트랜지스터는 기판 상의 게이트 전극을 포함한다. 하기 화학식 1을 갖는 고분자 화합물을 포함하는 유기 게이트 절연막이 상기 게이트 전극 상에 위치한다. 소오스 전극 및 드레인 전극이 상기 유기 게이트 절연막 상에 위치한다. 유기 활성막이 상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극을 연결한다.(화학식 1)고분자 화합물, 유기 게이트 절연막, 유기 박막 트랜지스터
Int. CL G03F 7/004 (2006.01) C08L 33/12 (2006.01)
CPC C08L 33/12(2013.01) C08L 33/12(2013.01) C08L 33/12(2013.01)
출원번호/일자 1020070103605 (2007.10.15)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0879271-0000 (2009.01.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20090119) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.15)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기현 대한민국 대전 유성구
2 윤성민 대한민국 대전 서구
3 김철암 대한민국 서울 영등포구
4 서경수 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0737079-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0018799-48
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0348224-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0574032-92
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.08.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0574031-46
7 등록결정서
Decision to grant
2008.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0592296-96
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1을 갖는 고분자 화합물을 포함하는 유기 절연막
2 2
삭제
3 3
기판 및 하기 화학식 1을 갖는 고분자 화합물을 준비하는 단계;(화학식 1)상기 고분자 화합물에 감광성 작용제를 첨가하는 단계;상기 감광성 작용제가 첨가된 상기 고분자 화합물을 사용하여 상기 기판상에 유기막을 형성하는 단계; 및상기 유기막을 패터닝하는 단계를 포함하되,상기 화학식 1에서 n, m은 1보다 큰 양의 정수이고, R1은 하기 화학식 2로 표시되는 원자단들 중 어느 하나이고, R2는 하기 화학식 3으로 표시되는 원자단인 유기 절연막 형성 방법
4 4
삭제
5 5
제 3 항에 있어서,상기 유기막을 패터닝하는 단계는: 상기 유기막의 소정 영역에 빛을 조사하는 단계; 및상기 유기막 중 상기 빛이 조사된 부분을 제거하는 단계를 포함하고,상기 감광성 작용제는 상기 유기막 중 상기 빛이 조사된 부분에서 상기 R1을 OH기로 치환시키고,상기 유기막 중 상기 빛이 조사된 부분는 알카리 용매를 사용하여 제거되는 것을 특징으로 하는 유기 절연막 형성 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 감광성 작용제는 아릴디아조니움염(aryldiazonium salt), 디아릴요도니움염(diaryliodonium salt), 트리아릴술포니움염(tryarylsulfonium salt), 디알킬페닐아실술포니움염(dialkylphenylacylsulfonium salt), 하이드록시페닐술포니움염(hydroxyphenylsulfonium salt), 2-니트로벤질 토실레이트(2-nitrobenzyl tosylate), 2,4-디니트로벤질 토실레이트(2,4-dinitrobenzyl tosylate), 2,6-디니트로벤질 토실레이트(2,6-dinitrobenzyl tosylate), 피-니트로벤질 9,10-디메톡시안트라센-2-술포네이트((p-nitrobenzyl 9,10-dimethoxyanthracene-2-sulfonate), 1,2,3-트리스(메탄술포닐옥시) 벤젠(1,2,3-tris(methanesulfonyloxy) benzene, MeSB), 아리비스(트리클로로메틸)-에쓰-트리아진(arybis(trichloromethyl)-s-triazine), 1,1-비스(피-클로로페닐)-2,2,2-트리클로로에탄(1,1-bis(p-chlorophenyl)-2,2,2-trichloroethane), 1,1-비스(피-클로로페닐)-2,2,2-트리클로로에탄올(1,1-bis(p-chlorophenyl)-2,2,2-trichloroethanol), α,α'비스(아릴술포닐) 디아조메탄(α,α'bis(arylsulfonyl) diazomethane), α,α'비스(4-티-부틸페닐 술포닐) 디아조메탄(α,α'bis(4-t-butylphenyl sulfonyl) diazomethane) 및 이들의 유도체 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막 형성 방법
7 7
제 3 항에 있어서,상기 고분자 화합물은 하기 화학식 4를 갖는 화합물 2와 하기 화학식 5를 갖는 화합물 3의 중합 반응에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 절연막 형성 방법
8 8
제 3 항에 있어서 상기 유기막은 습식 공정을 수행하는 것에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 절연막 형성 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 습식 공정은 스핀 코팅, 딥 코팅, 프린트 코팅, 또는 잉크젯 코팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막 형성 방법
10 10
기판;상기 기판 상에 위치하는 소오스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극;상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극과 상기 게이트 전극 사이에 개재하고, 하기 화학식 1을 갖는 고분자 화합물을 포함하는 유기 게이트 절연막; 및상기 유기 게이트 절연막에 접하고, 상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극을 연결하는 유기 활성막을 포함하는 유기 박막 트랜지스터
11 11
삭제
12 12
제 10 항에 있어서,상기 유기 게이트 절연막은 감광성 작용제를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
13 13
제 12 항에 있어서,상기 감광성 작용제는 아릴디아조니움염(aryldiazonium salt), 디아릴요도니움염(diaryliodonium salt), 트리아릴술포니움염(tryarylsulfonium salt), 디알킬페닐아실술포니움염(dialkylphenylacylsulfonium salt), 하이드록시페닐술포니움염(hydroxyphenylsulfonium salt), 2-니트로벤질 토실레이트(2-nitrobenzyl tosylate), 2,4-디니트로벤질 토실레이트(2,4-dinitrobenzyl tosylate), 2,6-디니트로벤질 토실레이트(2,6-dinitrobenzyl tosylate), 피-니트로벤질 9,10-디메톡시안트라센-2-술포네이트((p-nitrobenzyl 9,10-dimethoxyanthracene-2-sulfonate), 1,2,3-트리스(메탄술포닐옥시) 벤젠(1,2,3-tris(methanesulfonyloxy) benzene, MeSB), 아리비스(트리클로로메틸)-에쓰-트리아진(arybis(trichloromethyl)-s-triazine), 1,1-비스(피-클로로페닐)-2,2,2-트리클로로에탄(1,1-bis(p-chlorophenyl)-2,2,2-trichloroethane), 1,1-비스(피-클로로페닐)-2,2,2-트리클로로에탄올(1,1-bis(p-chlorophenyl)-2,2,2-trichloroethanol), α,α'비스(아릴술포닐) 디아조메탄(α,α'bis(arylsulfonyl) diazomethane), α,α'비스(4-티-부틸페닐 술포닐) 디아조메탄(α,α'bis(4-t-butylphenyl sulfonyl) diazomethane) 및 이들의 유도체 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
14 14
제 10 항에 있어서,상기 유기 활성막은 펜타센(pentacene), DH6T(dihexyl-hexithiophene), 위치규칙적 P3HT(regioregular (poly(3-hexythiophene)), F8T2(poly-9,9-dioctylfluorene-co-bithiophene), DHADT (dihexylanthra-dithiophene) 및 이들의 유도체 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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