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3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치

  • 기술번호 : KST2015083067
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3 차원 멤즈 미세구조체를 구비하는 멤즈 소자가 구조체 기판 또는 건조판에 고착되는 것을 방지하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세구조체와 구조체 기판 사이에 존재하는 세척액을 제거하면서 발생하는 표면장력으로 미세구조체가 기판에 고착되는 현상을 방지하기 위해 건조판; 및 세척액 제거를 위해 상부에 위치하는 미세구조체로부터 흘러나오는 세척액이 배출되도록 상기 건조판 상부 면에 소정의 높이로 복수 개 형성되는 미세돌기를 포함하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치에 관한 것이다. 멤즈(MEMS), 미세구조체, 세척액, 고착방지
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070082558 (2007.08.17)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0964970-0000 (2010.06.11)
공개번호/일자 10-2009-0018257 (2009.02.20) 문서열기
공고번호/일자 (20100621) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.17)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 제창한 대한민국 대전광역시 유성구
2 이명래 대한민국 대전광역시 유성구
3 정성혜 대한민국 대전광역시 동구
4 황건 대한민국 서울특별시 강남구
5 최창억 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2007-0593469-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0016863-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0023703-22
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.03.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0163195-20
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0163194-85
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0266643-68
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2009-0505498-82
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.08.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0505497-36
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0507147-65
12 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2010.01.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2010-0001896-72
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0099679-41
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0295015-52
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.05.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0295014-17
16 등록결정서
Decision to grant		 2010.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0241335-05
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
3 차원 멤즈 미세구조체의 세척액 건조시, 상기 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치에 있어서, 건조판; 및 상기 건조판 상부 면에 소정의 높이로 형성되어 상부에 위치하는 상기 3 차원 멤즈 미세구조체로부터 흘러나오는 세척액이 배출되도록 함으로써, 상기 3 차원 멤즈 미세구조체와 미세구조체 하부 구조체 기판 사이의 표면장력을 상쇄시켜주는 복수의 미세돌기 를 포함하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 미세돌기는 상단부에 고착 방지 물질을 증착하는 것을 특징으로 하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 건조판의 가장자리에 미세구조체의 미끄러짐을 방지하기 위해 적어도 상기 미세돌기의 높이보다 높게 형성되는 고정벽이 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 건조판의 하부에 가열장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 미세돌기는 상부에 요철을 형성하는 것을 특징으로 하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 미세돌기는 일정한 패턴이 반복되는 형상으로 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
7 7
3 차원 멤즈 미세구조체의 세척액 건조시, 상기 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치에 있어서, 건조판; 상기 건조판 상부 면에 소정의 높이로 형성되어 상부에 위치하는 상기 3 차원 멤즈 미세구조체로부터 흘러나오는 세척액이 배출되도록 하는 유로를 형성함으로써, 상기 3 차원 멤즈 미세구조체와 미세구조체 하부 구조체 기판 사이의 표면장력을 상쇄시켜주는 복수의 미세돌기; 상기 건조판의 가장자리에 일정한 높이로 형성되어 상기 3 차원 멤즈 미세구조체의 미끄럼을 방지하는 적어도 하나의 고정벽; 및 상기 건조판의 상부면에 형성된 고착 방지층 을 포함하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 고착 방지층은 고착 방지 물질이 증착되는 것을 특징으로 하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 유로는 일정한 패턴이 반복되는 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
10 10
제 7 항에 있어서, 상기 건조판의 하부에 가열장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3 차원 멤즈 미세구조체의 고착방지를 위한 부양 장치
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1 US2011186089 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8613287 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2009025435 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 정보통신부 한국전자통신연구원 IT신성장동력핵심기술개발사업 유비쿼터스용 CMOS 기반 MEMS 복합센서기술개발