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정전용량형 MEMS 진동센서의 정전용량 변화량에 상응하는 시간변화량을 가지는 인에이블 신호를 생성하는 정전용량-시간 변환부;상기 인에이블 신호를 이용하여 진동의 극성 및 크기를 감지하는 진동감지부; 및 상기 감지된 진동의 극성 및 크기를 디지털 값으로 출력하는 출력부;를 포함하는 정전용량형 MEMS 진동센서의 진동 극성 및 크기를 감지하기 위한 양극성 구동회로
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제1항에 있어서, 상기 정전용량형 MEMS 진동센서는, 단일 입력(Single Input) 또는 차동 입력(Differentilal Input) 형태 중 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 MEMS 진동센서의 진동 극성 및 크기를 감지하기 위한 양극성 구동회로
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제1항에 있어서, 상기 정전용량-시간 변환부는,외부 진동에 따라 변화되는 제1 정전용량에 상응하는 제1 전압을 기준 전압과 비교하여 상기 제1 정전용량에 대응하는 시간폭을 갖는 제1 사각파를 출력하는 제1 정전용량 비교기;기준이 되는 제2 정전용량에 상응하는 제2 전압을 기준 전압과 비교하여 상기 제2 정전용량에 대응하는 시간폭을 갖는 제2 사각파를 출력하는 제2 정전용량 비교기; 및상기 제1 및 제2 사각파를 XOR하여 상기 제1 및 제2 사각파가 시작되는 시점의 시간차에 해당하는 시간변화량을 가지는 인에이블 신호를 출력하는 XOR 연산기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 MEMS 진동센서의 진동 극성 및 크기를 감지하기 위한 양극성 구동회로
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제3항에 있어서, 상기 진동감지부는, 상기 인에이블 신호와 상기 제1 사각파 또는 제2 사각파를 비교하여 진동의 극성을 감지하는 진동극성감지부; 및상기 인에이블 신호에 해당하는 시간 동안 카운터한 값으로 진동의 크기를 감지하는 진동크기감지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 MEMS 진동센서의 진동 극성 및 크기를 감지하기 위한 양극성 구동회로
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제4항에 있어서, 상기 진동극성감지부는,상기 제1 사각파 또는 제2 사각파 및 상기 인에이블 신호를 입력받아, 상기 제1 사각파 또는 제2 사각파를 상기 인에이블 신호에 대응되는 시간 동안 저장하는 1 비트 래치(latch)를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 MEMS 진동센서의 진동 극성 및 크기를 감지하기 위한 양극성 구동회로
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제5항에 있어서, 상기 진동극성감지부는,상기 제1 정전용량 비교기에서 출력되는 제1 사각파가 상기 인에이블 신호와 동일하게 High이면 '1', 반대로 상기 인에이블 신호와 상이하게 Low이면 '0'으로 극성을 감지하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 MEMS 진동센서의 진동 극성 및 크기를 감지하기 위한 양극성 구동회로
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제6항에 있어서, 상기 진동크기감지부는, 상기 제2 정전용량 비교기에서 출력되는 제2 사각파를 상기 인에이블 신호에 대응되는 시간 동안 카운터 하는 n 비트 카운터; 및상기 카운터한 n 비트 값을 저장하는 n 비트 래치를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 MEMS 진동센서의 진동 극성 및 크기를 감지하기 위한 양극성 구동회로
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제7항에 있어서, 상기 출력부는상기 1 비트 래치에 저장된 진동 극성을 최상위 비트로 출력하고, 상기 n 비트 래치에 저장된 n 비트 값을 입력받아 n+1 비트 디지털 값으로 출력하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 MEMS 진동센서의 진동 극성 및 크기를 감지하기 위한 양극성 구동회로
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