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테스트할 테라헤르츠파 소자를 실장한 소자 기판을 고정하는 지지대;
상기 지지대의 상부에 위치되어 폴더 방식으로 개폐되는 브라켓; 및
상기 브라켓상에 고정 배치되며, 상기 브라켓이 닫힘 상태일 때 상기 소자 기판에 접촉하여 상기 테라헤르츠파 소자와 전기적으로 연결되는 프로브 핀들을 구비하는 프로브 기판을 포함하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제1항에 있어서, 상기 지지대는
중앙 영역이 개구되는 판 형태로 구현되며, 양측면의 내측에는 상기 소자 기판을 수렴하는 지지판; 및
상기 지지판을 공중으로부터 부양시키도록 상기 지지판의 외곽 영역에 설치되며, 상기 소자 기판의 위치를 고정시키는 볼 플런저들을 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제2항에 있어서, 상기 브라켓은
상기 지지판의 개구 영역에 대응되는 영역은 개구되고 전측면은 상기 소자 기판이 삽입 또는 제거될 수 있도록 개방되는 "ㄷ"형태로 구현되어, 상기 지지판의 상부에 고정 배치되는 하부 브라켓; 및
상기 지지판의 개구 영역에 대응되는 영역이 개구되도록 구현되며, 후측면이 상기 하부 브라켓의 후측면이 결합된 후 상기 하부 브라켓의 후측면을 기준으로 소정 각도 회전되는 상부 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제3항에 있어서, 상기 지지대는
상기 지지판의 외곽 영역에 형성되어 상기 하부 브라켓과의 결합을 유도하는 하부 브라켓 체결공들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제3항에 있어서, 상기 하부 브라켓은
상기 하부 브라켓의 양측면의 상부에 배치되어 상기 상부 브라켓과의 결합 압력을 균일하게 조정하는 고정용 자석;
상기 하부 브라켓의 양측면의 상부에 배치되어 상기 상부 브라켓의 개폐를 유도하는 열림 버튼; 및
상기 하부 브라켓의 후측면에 형성되어 상기 상부 브라켓과의 결합을 유도하는 상부 브라켓 결합홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제5항에 있어서, 상기 열림 버튼은
지렛대 원리를 통해 상기 상부 브라켓을 개폐하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제5항에 있어서, 상기 하부 브라켓은
상기 지지대의 하부 브라켓 체결공들에 대응되는 위치에 형성되어 상기 지지대와의 결합을 유도하는 지지대 체결공들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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8
제3항에 있어서, 상기 상부 브라켓은
상기 상부 브라켓의 양측면의 하부에 배치되어 상기 하부 브라켓과의 결합 압력을 균일하게 조정하는 고정용 자석; 및
상기 하부 브라켓의 상부 브라켓 결합홀에 결합되는 회전축이 삽입될 수 있도록 상기 상부 브라켓의 후측면을 관통하여 형성된 하부 브라켓 결합축을 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제5항 또는 제8항에 있어서,
상기 상부 브라켓이 닫힘 상태일 때에, 서로 결합되는 상기 상부 브라켓의 고정용 좌석과 상기 하부 브라켓의 고정용 좌석은 서로 상보되는 극성을 가지는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제1항에 있어서, 상기 프로브 기판은
기판;
상기 소자 기판의 제2 접촉 패드들에 전기적으로 연결되도록 상기 기판상에 고정 배치된 제1 프로브 핀들;
외부 단자가 결합될 수 있도록 상기 기판상에 고정 배치된 제2 프로브 핀들; 및
상기 제1 프로브 핀들과 제2 프로브 핀 간을 전기적으로 연결하도록 상기 기판에 패터닝된 신호 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제1항에 있어서, 상기 소자 기판은
상기 테라헤르츠파 소자가 레이저 펄스광을 수신하거나 테라헤르츠파를 방사하는 영역에 대응되는 위치가 개구된 적층형 보드;
상기 테라헤르츠파 소자의 접촉 단자에 대응되는 위치를 가지도록 상기 적층형 보드에 형성되는 제1 접촉 패드들;
상기 프로브 기판의 프로브 핀들에 대응되는 위치를 가지도록 상기 적층형 보드에 형성되는 제2 접촉 패드들; 및
상기 제1 접촉 패드들과 상기 제2 접촉 패드들간을 전기적으로 연결하도록 상기 적층형 보드에 패터닝된 신호 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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제2항 또는 제11항에 있어서, 상기 소자 기판은
상기 적층형 보드의 외곽 영역에 형성되어, 상기 지지대의 볼 플린저와의 체결을 유도하는 볼 플런저 체결공을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 테스트 지원 장치
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