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테라헤르츠파의 방사 또는 검출 동작이 수행되는 활성 영역을 구비하는 테라헤르츠파 소자;
중앙 영역에 형성된 개구 영역에 상기 활성 영역이 위치되도록 상기 테라헤르츠파 소자를 실장하고, 상기 테라헤르츠파 소자와 외부 단자간을 전기적으로 연결해주는 소자 기판;
상기 테라헤르츠파 소자의 상부에 고정 배치된 볼 렌즈 블록; 및
상기 테라헤르츠파 소자가 실장된 소자 기판을 내부에 수렴하되, 상기 테라헤르츠파 소자의 활성 영역의 수직 상하부는 개구시키는 상부 및 하부 케이스를 포함하고,
상기 상부 및 하부 케이스와 결합되어, 상기 상부 및 하부 케이스의 개구 영역을 밀폐시키는 상부 및 하부 캡을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 패키징 장치
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테라헤르츠파의 방사 또는 검출 동작이 수행되는 활성 영역을 구비하는 테라헤르츠파 소자;
중앙 영역에 형성된 개구 영역에 상기 활성 영역이 위치되도록 상기 테라헤르츠파 소자를 실장하고, 상기 테라헤르츠파 소자와 외부 단자간을 전기적으로 연결해주는 소자 기판;
상기 테라헤르츠파 소자의 상부에 고정 배치된 볼 렌즈 블록; 및
상기 테라헤르츠파 소자가 실장된 소자 기판을 내부에 수렴하되, 상기 테라헤르츠파 소자의 활성 영역의 수직 상하부는 개구시키는 상부 및 하부 케이스를 포함하고,
상기 테라헤르츠파 소자는
정사각형의 GA/AS 소자 기판;
상기 GA/AS 소자 기판상에 패터닝된 광전도 안테나형의 금속 패턴;
상기 금속 패턴의 끝단에 각각 형성된 전극 패드; 및
상기 GA/AS 소자 기판의 모서리들 각각에 형성된 접합 보조 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 패키징 장치
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테라헤르츠파의 방사 또는 검출 동작이 수행되는 활성 영역을 구비하는 테라헤르츠파 소자;
중앙 영역에 형성된 개구 영역에 상기 활성 영역이 위치되도록 상기 테라헤르츠파 소자를 실장하고, 상기 테라헤르츠파 소자와 외부 단자간을 전기적으로 연결해주는 소자 기판;
상기 테라헤르츠파 소자의 상부에 고정 배치된 볼 렌즈 블록; 및
상기 테라헤르츠파 소자가 실장된 소자 기판을 내부에 수렴하되, 상기 테라헤르츠파 소자의 활성 영역의 수직 상하부는 개구시키는 상부 및 하부 케이스를 포함하고,
상기 볼 렌즈 블록은
반구 형태로 구현되는 볼 렌즈; 및
상기 볼 렌즈의 외측면을 둘러싸는 원통 형태로 구현되어 상기 볼렌즈를 고정시키는 스리브를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 패키징 장치
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제4항에 있어서,
상기 볼 렌즈 및 상기 스리브는
에폭시 접합 작업을 통해 칩 형태로 일체화되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 패키징 장치
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테라헤르츠파의 방사 또는 검출 동작이 수행되는 활성 영역을 구비하는 테라헤르츠파 소자;
중앙 영역에 형성된 개구 영역에 상기 활성 영역이 위치되도록 상기 테라헤르츠파 소자를 실장하고, 상기 테라헤르츠파 소자와 외부 단자간을 전기적으로 연결해주는 소자 기판;
상기 테라헤르츠파 소자의 상부에 고정 배치된 볼 렌즈 블록; 및
상기 테라헤르츠파 소자가 실장된 소자 기판을 내부에 수렴하되, 상기 테라헤르츠파 소자의 활성 영역의 수직 상하부는 개구시키는 상부 및 하부 케이스를 포함하고,
상기 소자 기판은
중앙 영역이 개구된 적층형 세라믹 보드;
상기 테라헤르츠파 소자의 전극 패드에 대응되는 위치를 가지도록 상기 세라믹 보드에 형성되는 제1 접촉 패드들;
상기 테라헤르츠파 소자의 접합 보조 패드에 대응되는 위치를 가지도록 상기 세라믹 보드에 형성되는 제2 접촉 패드들;
상기 외부 단자가 결합될 수 있도록 상기 세라믹 보드의 일측에 형성되는 홀 패턴; 및
상기 제1 접촉 패드들과 상기 홀 패턴간을 전기적으로 연결하도록 상기 세라믹 보드에 패터닝된 신호 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 패키징 장치
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제6항에 있어서,
상기 제1 및 제2 접촉 패드들은 상기 세라믹 보드의 최상부층에 형성되고, 상기 신호 라인은 상기 세라믹 보드의 하부층에 형성되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 소자의 패키징 장치
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