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기판;
상기 기판의 상부에 적층되는 하부 클래드;
상기 하부 클래드 상부에 적층되는 상부 클래드; 및
상기 하부 클래드와 상기 상부 클래드 사이에 형성되고, 광원으로부터 입력되는 광을 전달하는 유한한 폭과 두께를 갖고 상기 하부 클래드와 상기 상부 클래드 보다 큰 전기전도도를 갖는 물질로 형성된 하나 이상의 금속박막을 포함하는 표면 플라즈몬 광도파로 형태의 센서부로 이루어지며,
상기 하부 및 상부 클래드는 유리, 석영, 폴리머, n 또는 p가 도핑 또는 도핑되지않은 GaAS, Inp, Si 중 하나 또는 조합에 의해 형성되되, 서로 다른 열광학 계수과 동일한 온도 변화에 대해 서로 다른 굴절률 변화량을 가지는 것을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도센서
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제1항에 있어서,
상기 센서부는 유한한 두께를 갖고, 상기 금속박막보다 작은 전기전도도를 갖는 물질로 상기 하부 및 상부 클래드 사이에 형성된 중간 클래드를 더 포함함을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도센서
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제2항에 있어서,
상기 하부 및 상부 클래드는 상기 금속박막을 형성한 물질보다 작은 전기전도도를 갖고, 상기 중간 클래드를 형성한 물질보다 굴절률이 큰 물질로 형성됨을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도센서
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삭제
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제3항에 있어서,
상기 하부 클래드는 온도가 증가함에 따라 굴절률이 증가하는 실리카로 형성되고 상기 상부 클래드는 온도가 증가함에 따라 굴절률이 감소되는 폴리머로 형성됨을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도센서
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제2항에 있어서,
상기 중간 클래드는 상기 금속박막의 폭과 동일한 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도 센서
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제6항에 있어서,
상기 중간 클래드는 유리, 석영, 폴리머, n 또는 p가 도핑 또는 도핑되지않은 GaAS, Inp, Si 중 하나 또는 조합에 의해 형성됨을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도 센서
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제1항에 있어서,
상기 금속박막은 금, 은, 구리 알루미늄, n 또는 p가 도핑된 GaAS, Inp, Si 중 하나 또는 조합에 의해 형성됨을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도 센서
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제1항에 있어서,
상기 금속박막은 원형, 원통형, 삼각형 또는 사다리꼴 모양의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도 센서
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제2항에 있어서,
상기 하부 클래드, 상기 상부 클래드 및 상기 중간 클래드 중 하나는 액체로 형성됨을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도 센서
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제1항에 있어서,
상기 센서부의 입력단의 상기 금속박막으로 상기 입력되는 광을 전달하는 광섬유로 이루어진 입력부; 및
상기 금속박막을 통해 전달된 상기 광을 출력하여 광 검출기까지 전달하는 광섬유로 이루어진 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도 센서
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12
제1항에 있어서,
상기 센서부의 끝단에 형성되어 상기 입력되는 광을 반사시키는 반사부; 및
상기 센서부의 입력단의 상기 금속박막에 상기 입력되는 광을 전달하고, 상기 반사부로부터 반사되는 광을 출력하는 동일한 하나의 광섬유로 이루어진 입출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도센서
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