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p형 도핑층, n형 도핑층 및 비도핑영역으로 이루어진 광다이오드;
상기 p형 도핑층 및 n형 도핑층의 양 끝단 상부에 각각 형성된 전극;
상기 비도핑영역의 상부에 고정된 프로브분자; 및
외부로부터 주입되는 검체내에 포함되며 상기 프로브분자와 반응하는 타겟분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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2
제 1항에 있어서,
상기 타겟분자는 나노입자에 고정되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제 2항에 있어서,
상기 나노입자의 크기는 변화되며, 상기 나노입자의 크기에 따라 민감도가 증가되거나 감소되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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4
제 1항에 있어서,
상기 프로브분자는 항원, 항체, DNA 및 단백질로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 조합으로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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5
제 1항에 있어서,
상기 타겟분자는 항원, 항체, DNA 및 단백질로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나 또는 이들을 조합하여 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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6
제 1항에 있어서,
상기 비도핑영역의 크기에 따라 민감도가 증가되거나 감소되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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7
제 1항에 있어서,
상기 비도핑영역의 일부 또는 전체가 노출되도록 상기 광다이오드 상부에 형성된 광흡수층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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8 |
8
제 7항에 있어서,
상기 광흡수층의 형태에 따라 민감도가 증가되거나 감소되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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9
제 1항에 있어서,
상기 프로브분자가 고정된 비도핑영역의 상부에 유체의 통로를 제공하는 유체관을 더 포함하며,
상기 유체관은, 상기 p형 도핑층 및 n형 도핑층과 접촉되는 PDMS 패턴으로 구성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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10
제 1항에 있어서,
상기 p형 도핑층 및 n형 도핑층과 상기 전극은 오믹 콘택(ohmic contant)을 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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11
(a) 기판 상부에 p형 도핑층, n형 도핑층 및 비도핑영역으로 이루어진 광다이오드를 형성하는 단계;
(b) 상기 p형 도핑층 및 n형 도핑층의 양 끝단 상부에 전극을 각각 형성하는 단계;
(c) 상기 비도핑영역 상부에 프로브분자를 고정하는 단계; 및
(d) 검체내에 상기 프로브분자와 반응하는 타겟분자를 포함시켜 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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12
제 11항에 있어서, 상기 (a) 단계에서,
상기 비도핑영역의 크기에 따라 민감도가 증가되거나 감소되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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13
제 11항에 있어서, 상기 (a) 단계에서,
상기 기판 상부에 인시튜로 불순물 도핑과 에피택셜층 성장을 동시에 진행하여 상기 p형 도핑층 및 n형 도핑층을 형성하거나, 상기 기판 표면에 이온주입법 또는 열 확산법 중 어느 한 방법으로 상기 p형 도핑층 및 n형 도핑층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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14
제 11항에 있어서, 상기 (b) 단계에서,
상기 p형 도핑층 및 n형 도핑층과 오믹 콘택(ohmic contant)을 형성하도록 상기 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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15
제 11항에 있어서, 상기 (b) 단계 이후, 상기 (c) 단계 이전에,
상기 비도핑영역의 일부 또는 전체가 노출되도록 상기 광다이오드 상부에 광흡수층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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16
제 15항에 있어서,
상기 광흡수층의 형태에 따라 민감도가 증가되거나 감소되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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제 11항에 있어서, 상기 (c) 단계에서,
상기 프로브분자는 항원, 항체, DNA 및 단백질로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나 또는 이들을 조합하여 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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18
제 11항에 있어서, 상기 (d) 단계에서,
상기 타겟분자는 항원, 항체, DNA 및 단백질로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나 또는 이들을 조합하여 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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19
제 11항에 있어서, 상기 (d) 단계에서,
상기 타겟분자를 나노입자에 고정하여 검체내에 포함시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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20
제 19항에 있어서,
상기 나노입자의 크기는 변화되며, 상기 나노입자의 크기에 따라 민감도가 증가되거나 감소되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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21
제 11항에 있어서,
상기 프로브분자가 고정된 상기 비도핑영역의 상부에 유체의 통로를 제공하는 유체관을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 제조 방법
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