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미세 패터닝 가능한 다층 투명 전도막

  • 기술번호 : KST2015084074
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 패터닝이 가능한 다층 투명 전도막에 관한 것으로, 상기 다층 투명 전도막은 ZnO, Al2O3, SnO2 및 Sb2Ox를 포함하는 산화물층과 Ag를 주성분으로 하는 금속층을 교대로 적층하여 이루어진다. 본 발명에 따른 다층 투명 전도막은 인듐을 사용하지 않으면서, 낮은 면저항을 얻을 수 있으며, 또한 높은 가시광선 투과율을 얻을 수 있다. 전도막, 산화물, 금속
Int. CL G02F 1/1343 (2006.01) C09D 5/24 (2006.01)
CPC G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01)
출원번호/일자 1020080044268 (2008.05.14)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0952425-0000 (2010.04.05)
공개번호/일자 10-2009-0108516 (2009.10.15) 문서열기
공고번호/일자 (20100414) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020080033583   |   2008.04.11
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.14)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조두희 대한민국 대전 유성구
2 유민기 대한민국 서울 노원구
3 변춘원 대한민국 대전 유성구
4 양신혁 대한민국 경기 용인시 수지구
5 황치선 대한민국 대전 유성구
6 추혜용 대한민국 대전 유성구
7 조경익 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0339647-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.04.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.05.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0031352-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0023266-95
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0123196-63
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.02.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0123201-15
8 등록결정서
Decision to grant		 2010.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0135276-90
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
n개의 산화물층과 n-1개의 금속층이 교대로 적층되어 있는 다층 투명 전도막에 있어서, 상기 산화물층은 ZnO, Al2O3, 및 SnO2를 포함하고, 상기 금속층은 Ag, Ag/Pd 합금, 및 Ag/Mg 합금으로 이루어진 군에서 선택되며, 상기 다층 투명 전도막의 최상부층과 최하부층은 산화물층으로 이루어지며, 최하부 산화물층에 비하여 최상부 산화물층이 SnO2 성분을 1 내지 10at% 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패터닝이 가능한 다층 투명 전도막
2 2
제 1항에 있어서, 상기 산화물층은 Sb2Ox를 더 포함하는 미세 패터닝이 가능한 다층 투명 전도막
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 산화물층은 Al2O3 0
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 산화물층의 두께는 30 내지 55㎚의 범위이고, 금속층의 두께는 5 내지 12㎚의 범위인 미세 패터닝이 가능한 다층 투명 전도막
6 6
삭제
7 7
제 1항에 있어서, 상기 다층 투명 전도막의 미세 패터닝은 습식 식각을 통해 수행되는 것인 미세 패터닝이 가능한 다층 투명 전도막
8 8
제 7항에 있어서, 상기 습식 식각을 위한 식각액은 강산과 산화제가 포함된 용액인 미세 패터닝이 가능한 다층 투명 전도막
9 9
제 8항에 있어서, 상기 강산은 염산, 황산 및 옥살산으로 이루어진 군에서 일종 이상 선택되고, 상기 산화제는 과산화수소인 미세 패터닝이 가능한 다층 투명 전도막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.