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염기성 화학종을 포함하는 알코올계 용액을 준비하는 단계;
금속 산화물 전구체 용액을 준비하는 단계;
금속 산화물 나노입자를 형성하기 위하여 상기 금속 산화물 전구체 용액을 알코올계 용액의 혼합 용액을 반응시키는 단계; 및
얻어진 금속 산화물 나노입자를 정제하는 단계를 포함하는 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 알코올계 용액은 C1-C6 알코올을 포함하는 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 염기성 화학종은 LiOH, NaOH, KOH, NH4OH, 이의 수화물 및 이들의 배합물로 이루어진 군에서 선택되는 것인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 금속 산화물 전구체는 금속 아세테이트, 금속 알콕사이드, 금속 나이트레이트, 금속 할라이드, 이의 수화물 및 이들의 배합물로 이루어진 군에서 선택되는 것인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 금속 산화물 전구체의 금속은 IIA족 금속, IIIA족 금속, IV족 금속, VA족 금속, 전이 금속, 란타나이드계 금속, 악티나이드계 금속 및 이들의 배합물로 이루어진 군에서 선택되는 것인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 반응 단계는 0 내지 100℃의 온도에서 1분 내지 24시간 동안 진행되는 것인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 반응 단계에서 반응을 위하여 초음파 또는 교반을 수반하는 것인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항에 있어서,
Al, Cu, Ni, Ir 및 이들의 화합물로 이루어진 군에서 선택된 도펀트 화학종이 혼합 용액에 더 첨가되는 것인 금속 산화물 나노입자의 제조방법
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제 1항 내지 제 8항중 어느 하나의 항에 따라 제조된 평균 직경이 10㎚ 내지 50㎚이며, 평균 길이가 10㎚ 내지 500㎚인 금속 산화물 나노입자
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금속 산화물 나노입자를 용매 중에 분산시켜 분산액을 제조하는 단계;
상기 분산액을 습식 공정을 통해 기판 상에 코팅하는 단계; 및
상기 용매를 상온 내지 100℃의 온도 범위에서 제거하는 단계를 포함하는 금속 산화물 박막의 제조방법
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제 10항에 있어서,
상기 분산액에 계면활성제가 더 포함되는 금속 산화물 박막의 제조방법
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제 10항에 있어서,
상기 습식 공정은 스핀코팅, 딥코팅, 그라비어 코팅, 스크린 프린팅 또는 스프레이 코팅인 금속 산화물 박막의 제조방법
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제 10항 내지 제 12항중 어느 하나의 항에 따라 제조된 금속 산화물 박막을 다른 처리 없이 반도체층으로 포함하는 전자 소자
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