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1
기판;
상기 기판과 분리되며 가동하는 질량추;
상기 질량추의 상단에 형성된 가동 전극판 지지부;
상기 가동 전극판 지지부에 의하여 지지되며, 상기 질량추의 상단에 일정한 방향으로 형성된 복수의 제 1 가동 전극판 및 상기 제 1 가동 전극판보다 높이가 낮은 복수의 제 2 가동 전극판;
상기 기판의 상단에 형성된 고정체;
상기 고정체와 결합하며, 상기 질량추의 상단과 인접하여 형성된 고정 전극판 지지부;
상기 고정 전극판 지지부에 의하여 지지되며, 상기 제 2 가동 전극판과 평행하게 대면하도록 배열된 복수의 제 1 고정 전극판 및 상기 제 1 가동 전극판과 평행하게 대면하도록 배열되며 상기 제 1 고정 전극판보다 높이가 낮은 복수의 제 2 고정 전극판; 및
상기 고정체 및 상기 가동 전극판 지지부를 연결하는 연결 스프링
을 포함하는 수직 방향 가속도 측정 장치
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2
제 1 항에 있어서,
상기 질량추는, 상기 기판에 형성된 홀의 내부에 존재하는
수직 방향 가속도 측정 장치
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3
삭제
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4
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 가동 전극판, 상기 제 2 가동 전극판, 상기 가동 전극판 지지부, 상기 제 1 고정 전극판, 상기 제 2 고정 전극판, 상기 고정 전극판 지지부, 상기 고정체 및 상기 연결 스프링은 전도성 물질로 이루어진
수직 방향 가속도 측정 장치
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5
제 1 항에 있어서,
상기 고정체의 상단에 형성된 가동 전원 접점 및 상기 고정 전극판 지지부의 상단에 형성된 고정 전원 접점
을 더 포함하는 수직 방향 가속도 측정 장치
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6
제 5 항에 있어서,
상기 고정 전원 접점은, 양전압이 인가되는 제1 고정 전원 접점 및 음전압이 인가되는 제2 고정 전원 접점을 포함하는
수직 방향 가속도 측정 장치
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7
제 1 항에 있어서,
상기 질량추는, 상기 기판과 동일한 물질 또는 상기 기판보다 밀도가 높은 물질로 이루어진
수직 방향 가속도 측정 장치
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8
제 1 항에 있어서,
상기 연결 스프링은, 가로 방향 탄성 계수보다 세로 방향 탄성 계수가 더 큰
수직 방향 가속도 측정 장치
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9
삭제
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10
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 고정 전극판, 상기 제 2 고정 전극판, 상기 제 1 가동 전극판 및 상기 제 2 가동 전극판은 상기 질량추의 중심을 기준으로 상하 대칭 및 좌우 대칭이 되도록 배열된
수직 방향 가속도 측정 장치
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11
제 1 항에 있어서,
상기 질량추는, 상기 기판을 식각하여 형성된
수직 방향 가속도 측정 장치
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12
제 1 항에 있어서,
상기 기판은 실리콘 기판이고, 상기 실리콘 기판의 상단에 산화층이 형성된
수직 방향 가속도 측정 장치
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13
제 12 항에 있어서,
상기 제 1 가동 전극판, 상기 제 2 가동 전극판, 상기 가동 전극판 지지부, 상기 제 1 고정 전극판, 상기 제 2 고정 전극판, 상기 고정 전극판 지지부, 상기 고정체 및 상기 연결 스프링은 상기 산화층의 상단에 형성된
수직 방향 가속도 측정 장치
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14
제 1 항에 있어서,
상기 질량추의 움직임에 의하여, 상기 제 1 가동 전극판과 상기 제 2 고정 전극판의 대면 면적 및 상기 제 2 가동 전극판과 상기 제 1 고정 전극판의 대면 면적이 변화하는
수직 방향 가속도 측정 장치
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15
제 14 항에 있어서,
상기 대면 면적의 변화에 상응하여 상기 제 1 가동 전극판과 상기 제 2 고정 전극판 사이 및 상기 제 2 가동 전극판과 상기 제 1 고정 전극판 사이에 형성되는 커패시턴스가 변화하는
수직 방향 가속도 측정 장치
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16
제 15 항에 있어서,
상기 커패시턴스는, 상기 질량추의 수직 방향 움직임에 의해서만 변화하는
수직 방향 가속도 측정 장치
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