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돌출형 하이퍼렌즈 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015084351
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 하이퍼렌즈의 구조를 개선함으로써 보려는 물체를 하이퍼렌즈의 전면에 반파장 이내의 거리로 용이하게 밀착시킬 수 있는 돌출형 하이퍼렌즈 및 이의 제조방법이 개시된다. 주렌즈층은 전면의 형상이 오목하며, 기판층은 주렌즈층을 지지한다. 주렌즈층의 전면 중앙부는 기판층의 표면에 비해 돌출되게 위치된다. 따라서, 주렌즈층을 보고자 하는 미세 물체에 반파장 이내로 용이하게 밀착 가능해진다. 이에 따라, 파장보다 작은 분해능의 상을 얻는 것이 가능해진다. 또한, 물체에서 산란되는 소멸파를 이용하는데 있어 사용자에게 큰 작업 편의성을 제공한다.하이퍼렌즈, 소멸파, 진행파, 분해능
Int. CL G02B 3/00 (2006.01) G02B 1/12 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080119981 (2008.11.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1205510-0000 (2012.11.21)
공개번호/일자 10-2010-0061093 (2010.06.07) 문서열기
공고번호/일자 (20121128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.28)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이왕주 대한민국 대전광역시 유성구
2 주정호 대한민국 서울특별시 마포구
3 김동호 대한민국 대전광역시 유성구
4 최재익 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유경열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)(특허법인 신지)
2 천성훈 대한민국 서울특별시 서초구 마방로*길 **-**, *층(양재동, 서흥빌딩)(청신국제특허법률사무소)
3 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0824478-83
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0738381-42
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0106361-26
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.02.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0106360-81
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2012.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0391637-86
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0652194-15
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.08.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0652193-69
9 등록결정서
Decision to grant		 2012.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0688643-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
물체에서 나온 빛 중 소멸파 성분을 이용하여 상기 물체의 상을 만드는 하이퍼렌즈로서,전면이 오목하게 형성된 주렌즈층; 및상기 주렌즈층을 지지하는 기판층;을 포함하고,상기 주렌즈층의 전면 중앙부는 상기 기판층의 표면에 비해 돌출되게 위치된 돌출형 하이퍼렌즈
2 2
제1항에 있어서,상기 주렌즈층의 전면 중 가장 돌출된 부위와 상기 주렌즈층의 전면 중앙부의 높이 차이는 상기 주렌즈층의 전면에서 상기 물체를 향해 조사되는 빛의 반 파장 이내인 돌출형 하이퍼렌즈
3 3
제1항에 있어서,상기 주렌즈층은 전면에서 후면으로 갈수록 단면적이 넓어지는 돌출형 하이퍼렌즈
4 4
제1항에 있어서,상기 주렌즈층은 유전체 및 금속 박막을 번갈아 적층하여 이루어진 돌출형 하이퍼렌즈
5 5
제4항에 있어서,상기 유전체 및 금속은 100㎚ 이하의 두께를 갖는 돌출형 하이퍼렌즈
6 6
제4항에 있어서,상기 유전체는 산화알루미늄(Al2O3)이며 상기 금속은 은(Ag)인 돌출형 하이퍼렌즈
7 7
물체에서 나온 빛 중 소멸파 성분을 이용하여 상기 물체의 상을 만드는 하이퍼렌즈의 제조방법에 있어서,기판층 및 상기 기판층에 지지되는 오목한 형상의 주렌즈층으로 이루어진 비돌출형 하이퍼렌즈를 형성하는 단계;상기 주렌즈층의 전면 중앙부에 포토 레지스터(Photo resister)를 마스킹(Masking)하는 단계;상기 주렌즈층의 전면 중앙부가 상기 기판층의 표면에 비해 돌출되도록, 상기 마스킹된 부분을 제외한 상기 주렌즈층 및 기판층을 식각하는 단계; 및 마스킹된 상기 포토 레지스터를 제거하는 단계;를 포함하는 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
8 8
제7항에 있어서,상기 포토 레지스터를 마스킹하는 단계는:상기 기판층 및 주렌즈층 전면에 포토 레지스터를 도포하는 단계; 및상기 포토 레지스터 중에서 상기 주렌즈층의 중앙부를 제외한 나머지 부분을 제거하는 단계;를 포함하는 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 포토 레지스터를 마스킹하는 단계에서,상기 포토 레지스터 중 제거되지 않는 부분은 상기 주렌즈층의 중앙부로부터 전면을 향해 일정 폭으로 수직 연장된 부분인 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 포토 레지스터 중 제거되지 않는 부분은 상기 주렌즈층의 내측 지름보다 작은 폭을 갖는 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
11 11
제7항에 있어서,상기 식각 단계에서, 상기 주렌즈층의 전면 중 가장 돌출된 부위와 상기 주렌즈층의 전면 중앙부의 높이 차이는 상기 주렌즈층의 전면에서 상기 물체를 향해 조사되는 빛의 반 파장 이내인 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
12 12
제7항에 있어서,상기 식각 단계에서, 상기 주렌즈층은 전면에서 후면으로 갈수록 단면적이 넓어지도록 상기 주렌즈층의 양측벽이 경사진 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
13 13
제7항에 있어서,상기 비돌출형 하이퍼렌즈를 형성하는 단계에서,상기 기판층 전면에 반원통형 또는 반구형 홈을 형성하고, 상기 홈에 상기 주렌즈층을 적층하는 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 비돌출형 하이퍼렌즈를 형성하는 단계에서, 상기 주렌즈층은 유전체 및 금속 박막을 상기 홈의 바닥면에 번갈아 적층하여 이루어진 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
15 15
제14항에 있어서,상기 유전체 및 금속은 100㎚ 이하의 두께를 갖는 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
16 16
제14항에 있어서,상기 유전체는 산화알루미늄(Al2O3)이며 상기 금속은 은(Ag)인 돌출형 하이퍼렌즈의 제조방법
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1 US08213089 US 미국 FAMILY
2 US20100134897 US 미국 FAMILY

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1 US2010134897 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8213089 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국전자통신연구원 인공전자기 구조를 이용한 차세대 전파 센서 기술 개발