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장치 베이스(10a) 상에 이동 가능하게 제공된 이동형 장치 프레임(10);피 가공소재를 연마토록 상기 장치 프레임 사이에 회전 구동 가능하게 제공되는 피 가공소재 연마유닛(30); 및,상기 장치 베이스 상에 상기 피 가공소재 연마유닛의 하측으로 설치되고, 상기 피 가공소재가 장착되는 피 가공소재 홀더유닛(50);을 포함하며, 상기 이동형 장치 프레임(10)은, 상기 장치 베이스(10a) 상에 제공되는 수평 이동수단(16)과 연계되어 장치 베이스 상에서 수평 이동 가능하게 구성된 것을 특징으로 하며, 상기 장치 프레임(10)은, 하부에 상기 수평 이동수단(16)이 연계된 하부 프레임(12)과 상기 피 가공소재 연마유닛(50)이 연계되는 상부 프레임(14)으로 구성되고,상기 상,하부 프레임 사이에는 수직 이동수단(26)이 연계되어 상기 상부 프레임은 수평 이동 및 승강 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제1항에 있어서, 상기 수평 이동수단(16)은, 상기 하부 프레임(12)에 연계되는 구동원과 장치 베이스 상에 제공되고 상기 하부 프레임이 이동되는 레일부재로 구성되고,상기 수직 이동수단(26)은, 상기 상,하부 프레임(14)(12) 사이에 배치되는 액츄에이터로 제공된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제1항에 있어서, 상기 피 가공소재 연마유닛(30)은, 상기 장치 프레임에 회전 가능하게 연계되는 회전 구동축(32)을 포함하는 회전드럼(34); 및,상기 회전드럼(34)에 장착되어 피 가공소재를 연마하는 연마패드(36);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제5항에 있어서, 상기 회전드럼(34)의 회전구동축(32)이 연계되고, 상기 장치 프레임에 구비되는 완충수단(70)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제6항에 있어서, 상기 완충수단(70)은, 상기 장치프레임을 구성하는 상부 프레임(14)에 수직 장착되되, 하단에는 상기 회전드럼의 회전 구동축이 체결되는 베어링블록(72)이 구비된 에어, 가스 또는 탄성체 내장형 완충 실린더(74)를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제6항에 있어서,상기 회전드럼에 연결된 일측의 회전 구동축(32a)에는 완충수단에 구비된 베어링블록(72)에 연계되고, 장치에 구비된 장치 제어부(C)와 연계되어 회전속도와 회전방향이 제어되는 구동모터(38)가 연결된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제6항에 있어서, 상기 회전드럼(34)은 내부에 연마재가 저장되는 중공 원통체로 형성되고, 상기 회전드럼에 연통토록 연결된 타측의 중공 회전 구동축(32b)에는 연마재 공급호스(40)가 연계되며, 상기 회전드럼(34)과 회전드럼에 장착된 연마패드(36)에는 연마재의 외부 분출을 가능하게 하는 연마재 노즐수단(90)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제9항에 있어서,상기 연마재 노즐수단(90)은, 상기 회전드럼과 연마패드를 통하여 탈,부착 가능하게 조립되는 노즐수단 바디(90a)의 내부에 설치되는 개폐구(98)와 노즐구멍(96a)이 구비된 노즐판(94) 및 그 사이에 탄성 운동토록 개재되는 밸브판(94)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제1항에 있어서, 상기 피 가공소재 홀더유닛(50)은, 상기 장치베이스(10a)상에 제공되고 피 가공소재가 안착 홀딩되는 소재안착부(52)를 포함하는 홀더바디(54)를 구비하고,상기 홀더바디(54)는 제2의 수직 이동수단(56)을 통하여 장치 베이스(10a)상에서 승강 가능토록 구성된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제11항에 있어서, 상기 홀더바디(54)의 수직 이동수단(56)은, 상기 홀더바디(54)의 하부에 장치 베이스를 통하여 수직 장착된 승강로드(58); 및, 상기 승강로드(58)에 연계된 구동원;을 포함하여 홀더바디를 승강토록 구성된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제12항에 있어서, 상기 승강로드 일측에는 승강로드의 승강을 제어토록 장치제어부(C)에 연계된 레벨센서(66)가 더 배치되는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제12항에 있어서, 상기 승강로드(58)는 내부가 중공되고 하단에는 진공 흡입 또는 가스 공급용 관(68a) 및, 연마재 공급관(68b)중 어느 하나 또는 이들 모두가 연계되고, 상기 홀더유닛의 홀더바디에는 열선(67)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제1항 및 제4항 내지 제14항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 장치 베이스 상에 배치되거나 이동형 장치 프레임에 연계되는 연마재 공급구(110) 및, 가스 또는 세정수 공급구(130) 중 어느 하나 또는 이들 모두가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제15항에 있어서,상기 연마재 공급구(110)는 공급라인에 배치되는 열선(112)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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제1항 및 제4항 내지 제14항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 장치 프레임 사이에 연결된 지지대(152)에 장착되는 연마패드 컨디셔너(150) 및, 상기 지지대의 하부에 위치 조정 가능하게 제공되고, 소재 연마 정도를 제한하는 슬릿(172)을 포함하는 연마패드 슬릿판(170) 중 어느 하나 또는 이들 모두가 더 포함된 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마장치
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