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1-옥타데칸티올 및 16-메르캅토헥사데칸티올로 이루어진 군에서 선택된 자기 조립 단분자 물질의 증발이 일어나는 챔버;상기 챔버의 상부를 덮으며 안쪽에 기판을 고정할 수 있도록 기판 고정부가 형성된 상부 덮개;상기 챔버의 온도를 상기 자기 조립 단분자 물질의 기화점까지 높여 상기 챔버에 담긴 자기 조립 단분자 물질을 증발시키는 히팅부; 및상기 히팅부의 히팅 온도를 제어하기 위한 온도 제어부를 포함하되,진공 장비를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 장치
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제 1항에 있어서, 상기 챔버 내부의 압력을 배기하기 위한 배기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 장치
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제 1항에 있어서, 상기 기판 고정부는,상기 기판의 표면이 상기 챔버의 바닥면을 향하도록 상기 기판을 상기 상부 덮개 안쪽에 고정하는 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 장치
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제 3항에 있어서, 상기 기판 고정부는 상기 기판에 열이 전달되지 않는 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 장치
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제 1항에 있어서, 상기 기판은 유리 또는 실리콘 웨이퍼에 금속 박막이 형성된 금속 기판인 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 장치
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제 1항에 있어서, 상기 자기 조립 단분자 물질의 기화점에 따라 상기 히팅부의 히팅 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 장치
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(a) 1-옥타데칸티올 및 16-메르캅토헥사데칸티올로 이루어진 군에서 선택된 자기 조립 단분자 물질의 기화점까지 히팅 온도를 높이는 단계;(b) 기판의 표면이 챔버의 바닥면을 향하도록 기판을 상부 덮개의 안쪽에 고정한 후 상기 자기 조립 단분자 물질이 담긴 용기를 챔버 내에 놓는 단계;(c) 상기 히팅 온도에 의해 상기 챔버의 온도가 상승함에 따라 상기 용기에 담긴 자기 조립 단분자 물질이 증발되는 단계; 및(d) 상기 증발된 자기 조립 단분자 물질이 상기 기판에 증착되어 상기 기판 상에 자기 조립 단분자막이 형성되는 단계를 포함하되여기서, 각 단계는 진공이 요구되지 않는 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 방법
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제 7항에 있어서, 상기 자기 조립 단분자 물질은 알칸티올계 분자 물질인 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 방법
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제 7항에 있어서, 상기 (a) 단계에서,상기 자기 조립 단분자 물질의 기화점 특성에 따라 상기 히팅 온도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 방법
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제 7항에 있어서, 상기 (d) 단계 후,상기 챔버 내부의 압력을 배기구를 통해 배기하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 조립 단분자막 형성 방법
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