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연성 기판 위에 무기폴리머를 포함하는 전구체를 도포하는 단계,
상기 무기폴리머를 포함하는 전구체를 경화하는 단계, 그리고
경화된 상기 무기폴리머를 포함하는 전구체의 표면을 산화하여 산화막을 형성하는 단계
를 포함하는 연성 기판의 제조 방법
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2
제1항에 있어서,
상기 전구체를 경화하는 단계는
상기 전구체를 광경화하거나, 열경화하는
연성 기판의 제조 방법
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3
제1항에 있어서,
상기 산화막을 형성하는 단계는
산소 또는 산소혼합기체를 이용하여 상기 경화된 무기폴리머가 포함된 전구체를 플라즈마 처리하거나, 적외선/오존으로 처리하는
연성 기판의 제조 방법
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4
제1항에 있어서,
상기 산화막의 형성 단계는 상압에서 이루어지는
연성 기판의 제조 방법
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5
제1항에 있어서,
상기 전구체는 실록산, 메탈록산 또는 상기 실록산, 메탈록산과 고분자의 혼합물인
연성 기판의 제조 방법
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6
제1항에 있어서,
상기 경화 및 산화막 형성하는 단계는 롤투롤(roll-to-roll) 방식으로 연속 진행하는
연성 기판의 제조 방법
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7
제1항에 있어서,
상기 전구체의 도포, 경화 및 산화막 형성의 단계를 1회 이상 반복 수행하여 다층막을 형성하는
연성 기판의 제조 방법
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8
제1항에 있어서,
상기 산화막의 농도가 상기 기판으로 갈수록 낮아지는
연성 기판의 제조 방법
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9
기판,
무기폴리머를 포함하며, 상기 기판 위에 형성되어 있는 유기막, 그리고
상기 유기막 위에 형성되어 있는 산화막
을 포함하는 연성 기판
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10
제9항에 있어서,
상기 유기막과 상기 산화막은 단일층으로 형성되며, 상기 기판으로 갈수록 상기 산화막의 농도가 낮아지는
연성 기판
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11
제9항에 있어서,
상기 기판은 적어도 2층의 상기 유기막과 산화막을 포함하는
연성 기판
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