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테라헤르츠파 송수신 모듈로서,실리콘 볼렌즈가 일체화된 광전도 안테나에 펨토초 레이저 펄스를 집속시키기 위한 집속 렌즈가 정렬되어 이루어지고,상기 실리콘 볼렌즈가 일체화된 광전도 안테나는,기판 하부에 실리콘 옥사이드막을 소정 두께로 성장시킨 후, 상기 실리콘 옥사이드막을 사이에 두고 상기 기판과 상기 실리콘 웨이퍼를 아노딕 본딩(Anodic Bonding)으로 접합하는 단계;상기 기판 상에 다수의 광전도 안테나를 어레이 정렬 구조로 형성하는 단계; 및상기 기판 상에 형성된 전체 구조물을 소정 크기로 절단하고, 절단된 측면을 연마하여 실리콘 볼렌즈를 형성하는 단계에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 1항에 있어서, 상기 광전도 안테나는, 중앙 돌출 부위를 갖는 금속 평행 전송선로와, 상기 금속 평행 전송선로의 양단에 형성된 전극 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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제 1항에 있어서, 상기 실리콘 볼렌즈는 5mm 내지 25mm의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈
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(a) 기판 하부에 실리콘 옥사이드막을 소정 두께로 성장시킨 후, 상기 실리콘 옥사이드막을 사이에 두고 상기 기판과 상기 실리콘 웨이퍼를 아노딕 본딩(Anodic Bonding)으로 접합하는 단계;(b) 상기 기판 상에 다수의 광전도 안테나를 어레이 정렬 구조로 형성하는 단계;(c) 소정 크기의 실리콘 웨이퍼상에 하나의 광전도 안테나가 위치하도록 상기 (b) 단계를 통해 얻어진 전체 구조물을 소정 크기로 절단하는 단계;(d) 상기 소정 크기로 절단된 실리콘 웨이퍼의 측면을 연마하여 반구형의 실리콘 볼렌즈를 형성하는 단계; 및(e) 상기 광전도 안테나에 외부 소자와의 전기적 연결을 위한 신호선을 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 (a) 단계에서, 상기 실리콘 옥사이드막은 0
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제 5항에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼는 5mm 내지 30mm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 (b) 단계에서, 상기 기판 상에 광전도성 박막을 증착한 후 상기 광전도성 박막을 패터닝하여 다수의 광전도 안테나를 어레이 정렬 구조로 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 (b) 단계에서, 상기 광전도성 박막을 패터닝할 때, 중앙 돌출 부위를 갖는 금속 평행 전송선로와 상기 금속 평행 전송선로의 양단에 전극 패드가 형성된 형태로 패터닝하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 (c) 단계에서,소정 크기의 실리콘 웨이퍼상에 하나의 광전도 안테나가 위치하도록 상기 (b) 단계를 통해 얻어진 전체 구조물을 소정 크기로 블록화한 후, 소잉 공정을 통해 블록화된 크기로 절단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 (b) 단계 이후 및 상기 (c) 단계 이전에,상기 광전도 안테나의 상부에 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 11항에 있어서, 상기 (e) 단계에서,상기 보호막을 제거한 후 상기 광전도 안테나에 외부 소자와의 전기적 연결을 위한 신호선을 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 (e) 단계 이후에,상기 실리콘 볼렌즈가 일체화된 광전도 안테나에 펨토초 레이저 펄스를 집속시키기 위한 집속 렌즈를 정렬시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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