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웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템 및 집적회로 칩 조정 방법

  • 기술번호 : KST2015084885
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템 및 집적회로 칩 조정 방법에 관한 것으로, 칩 성능조정시에는 외부로부터 수신되는 조정값에 따라 칩 성능을 조정하고, 칩 성능조정 완료시에는 내부에 저장된 조정값에 따라 칩 성능을 조정 완료하는 복수개의 집적회로 칩들과, 복수개의 탐침 단자들이 배치된 탐침 영역과, 상기 탐침 영역의 탐침 단자들과 상기 복수개의 집적회로 칩간을 전기적으로 연결하는 복수개의 신호라인들이 배치된 신호전송 영역을 포함하는 반도체 웨이퍼; 및 상기 탐침 영역을 통해 적어도 하나의 집적회로 칩과 전기적으로 연결되어, 칩 성능조정시에는 상기 집적회로 칩에 제공되는 상기 조정값을 가변하면서 상기 집적회로 칩의 성능을 측정 및 조정하고, 칩 성능조정 완료시에는 상기 조정값을 상기 집적회로 칩의 내부에 저장시키는 조정 제어기를 포함한다.웨이퍼 조정, 웨이퍼 수준 테스트, 집적회로 칩, 태그 칩, RFID, 칩 성능조정, 공정 변화
Int. CL G06F 11/00 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020080113434 (2008.11.14)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1202020-0000 (2012.11.09)
공개번호/일자 10-2010-0054486 (2010.05.25) 문서열기
공고번호/일자 (20121116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.14)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 현석봉 대한민국 대전광역시 유성구
2 이희태 대한민국 대전광역시 유성구
3 박경환 대한민국 대전광역시 유성구
4 강성원 대한민국 대전광역시 유성구
5 이형섭 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 글로벤스 주식회사 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0788259-56
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2012-0006400-50
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0050839-48
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0243038-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.03.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0243039-64
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0506563-60
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
조정동작시에는 외부로부터 수신되는 조정값에 따라 내부에서 사용되는 기준 바이어스 전압 및 클럭 주파수 중 적어도 하나를 조정하고, 상기 조정동작이 완료되면 내부에 저장된 조정 완료값에 따라 상기 기준 바이어스 전압 및 상기 클럭 주파수 중 적어도 하나가 결정되는 복수개의 집적회로 칩들과, 복수개의 탐침 단자들이 배치된 탐침 영역과, 상기 탐침 영역의 탐침 단자들과 상기 복수개의 집적회로 칩간을 전기적으로 연결하는 복수개의 신호라인들이 배치된 신호전송 영역을 포함하는 반도체 웨이퍼; 및 상기 탐침 영역을 통해 적어도 하나의 집적회로 칩과 전기적으로 연결되어, 상기 조정동작시에는 상기 집적회로 칩에 제공되는 상기 조정값을 가변하면서 상기 집적회로 칩으로부터 동작 결과를 수신하고 상기 동작 결과를 분석하여 상기 조정 완료값을 획득하고, 상기 조정동작이 완료되면 상기 조정 완료값을 상기 집적회로 칩의 내부에 저장시키는 조정 제어기를 포함하고,상기 조정값 및 상기 조정 완료값은 상기 기준 바이어스 전압 및 상기 클럭 주파수 중 적어도 하나를 보정하기 위한 데이터이고,상기 조정 제어기에 의해 가변되는 상기 조정값 및 상기 조정 제어기에 의해 획득된 상기 조정 완료값은 상기 탐침 영역에 배치된 상기 복수개의 탐침 단자들 및 상기 신호전송 영역에 배치된 상기 복수개의 신호라인들을 통하여 상기 집적회로 칩으로 전송되는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 집적회로 칩들 각각은 상기 조정동작이 완료되면 상기 조정 제어기로부터 제공되는 상기 조정 완료값을 저장하는 조정 메모리;상기 조정동작시에는 상기 조정 제어기로부터 직접 제공되는 상기 조정값을 선택하여 출력하고, 상기 조정동작이 완료되면 상기 조정 메모리에 저장된 상기 조정 완료값을 선택하여 출력하는 멀티플렉서; 및 상기 멀티플렉서의 출력 신호에 따라 센싱 동작을 수행하는 칩 구동회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템
3 3
제2항에 있어서, 상기 조정 메모리는1회 프로그래머블 메모리인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템
4 4
제1항에 있어서, 상기 집적회로 칩들 각각은 상기 조정 제어기로부터 직렬 데이터 형태로 전송되는 상기 조정값 또는 상기 조정 완료값을 병렬 데이터 형태로 변환하는 직병렬 변환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템
5 5
제2항에 있어서, 상기 집적회로 칩들 각각은상기 칩 구동회로의 출력 신호들과 상기 조정값 또는 상기 조정 완료값을 버퍼하는 적어도 하나의 버퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템
6 6
제2항에 있어서, 상기 칩 구동회로는 상기 멀티플렉서의 출력 신호에 따라 안테나의 중심 주파수를 가변하고 상기 안테나를 통해 신호를 송수신하는 신호정합부;상기 신호정합부를 통해 송수신되는 신호를 변복조하는 신호 변환부;상기 신호정합부를 통해 수신되는 신호를 직류 전원으로 변환하는 전압 체배부;상기 멀티플렉서의 출력 신호에 따라 발생되는 클럭 신호의 상기 클럭 주파수를 가변하는 클럭 발생부;상기 클럭 발생부에서 발생된 상기 클럭 신호 및 상기 신호 변환부를 통해 복조된 신호를 입력하고, 상기 집적회로 칩의 센싱 동작을 수행하며, 상기 신호 변환부를 통해 변조될 신호를 출력하는 디지털 컨트롤러;상기 디지털 컨트롤러의 동작에 필요한 데이터와 상기 디지털 컨트롤러의 동작에 의해 생성되는 데이터를 저장하는 비휘발성 메모리; 및 상기 전압 체배부로부터 상기 직류 전원을 공급받고, 상기 멀티플렉서의 출력 신호에 따라 상기 신호 변환부, 상기 클럭 발생부, 및 상기 디지털 컨트롤러 각각으로 바이어스 전압들 및 동작 전압의 전압값을 가변하여 공급하는 전력 관리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템
7 7
제2항에 있어서, 상기 신호전송 영역은칩 절단단계에서 손실되는 스크라이브(scribe) 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템
8 8
제2항에 있어서, 상기 신호전송 영역은 상기 신호 라인상에 배치되는 상기 칩 구동회로의 출력 신호들과 상기 조정값을 버퍼하는 적어도 하나의 버퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템
9 9
복수개의 집적회로 칩들;조정 제어기의 탐침 핀들이 접촉되는 복수개의 탐침 단자가 배치된 탐침 영역; 및상기 탐침 단자와 상기 집적회로 칩간을 전기적으로 연결하는 복수개의 신호라인들이 배치된 신호전송 영역을 포함하며, 상기 집적회로 칩들 각각은 조정동작이 완료되면 상기 조정 제어기로부터 제공되는 조정 완료값을 저장하는 조정 메모리;상기 조정동작시에는 상기 조정 제어기로부터 직접 제공되는 조정값을 출력하고, 상기 조정동작이 완료되면 상기 조정 메모리에 저장된 상기 조정 완료값을 출력하는 멀티플렉서; 및 상기 멀티플렉서의 출력값에 따라 상기 집적회로 칩 내부에서 사용되는 기준 바이어스 전압 및 클럭 주파수 중 적어도 하나가 조정되고, 조정된 상기 기준 바이어스 전압, 조정된 상기 클럭 주파수, 또는 조정된 상기 기준 바이어스 전압 및 조정된 상기 클럭 주파수에 따라 센싱 동작을 수행하는 칩 구동회로를 포함하고,상기 조정동작시에는 상기 조정 제어기로부터 제공되는 상기 조정값은 상기 상기 탐침 영역에 배치된 상기 복수개의 탐침 단자들 및 상기 신호전송 영역에 배치된 상기 복수개의 신호라인들을 통하여 상기 멀티플렉서로 인가되고, 상기 조정동작이 완료되면 상기 조정 제어기로부터 제공되는 상기 조정 완료값은 상기 탐침 영역에 배치된 상기 복수개의 탐침 단자들 및 상기 신호전송 영역에 배치된 상기 복수개의 신호라인들을 통하여 상기 조정 메모리로 인가되는 집적회로 칩의 측정 및 조정을 지원하는 반도체 웨이퍼
10 10
제9항에 있어서, 상기 조정 메모리는1회 프로그래머블 메모리인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼
11 11
제9항에 있어서, 상기 집적회로 칩들 각각은상기 조정 제어기로부터 직렬 데이터 형태로 전송되는 상기 조정값 또는 상기 조정 완료값을 병렬 데이터 형태로 변환하는 직병렬 변환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼
12 12
제9항에 있어서, 상기 집적회로 칩들 각각은상기 칩 구동회로의 출력 신호들과 상기 조정값 또는 상기 조정 완료값을 버퍼하는 적어도 하나의 버퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼
13 13
제9항에 있어서, 상기 칩 구동회로는 상기 멀티플렉서의 출력 신호에 따라 안테나의 중심 주파수를 가변하고 상기 안테나를 통해 신호를 송수신하는 신호정합부;상기 신호정합부를 통해 송수신되는 신호를 변복조하는 신호 변환부;상기 신호정합부를 통해 수신되는 신호를 직류 전원으로 변환하는 전압 체배부;상기 멀티플렉서의 출력 신호에 따라 발생되는 클럭 신호의 상기 클럭 주파수를 가변하는 클럭 발생부;상기 클럭 발생부에서 발생된 상기 클럭 신호 및 상기 신호 변환부를 통해 복조된 신호를 입력하고, 상기 집적회로 칩의 센싱 동작을 수행하며, 상기 신호 변환부를 통해 변조될 신호를 출력하는 디지털 컨트롤러;상기 디지털 컨트롤러의 동작에 필요한 데이터와 상기 디지털 컨트롤러의 동작에 의해 생성되는 데이터를 저장하는 비휘발성 메모리; 및 상기 전압 체배부로부터 상기 직류 전원을 공급받고, 상기 멀티플렉서의 출력 신호에 따라 상기 신호 변환부, 상기 클럭 발생부, 및 상기 디지털 컨트롤러 각각으로 바이어스 전압들 및 동작 전압의 전압값을 가변하여 공급하는 전력 관리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼
14 14
제9항에 있어서, 상기 신호전송 영역은칩 절단단계에서 손실되는 스크라이브(scribe) 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼
15 15
제9항에 있어서, 상기 신호전송 영역은 상기 신호 라인상에 배치되는 상기 칩 구동회로의 출력 신호들과 상기 조정값을 버퍼하는 적어도 하나의 버퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼
16 16
복수개의 집적회로 칩들, 복수개의 탐침 단자들이 배치된 탐침 영역 및 상기 탐침 영역의 탐침 단자들과 상기 복수개의 집적회로 칩간을 전기적으로 연결하는 복수개의 신호라인들이 배치된 신호전송 영역으로 이루어진 반도체 웨이퍼와 상기 반도체 웨이퍼의 외부에 위치되는 조정 제어기를 포함하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 조정 시스템의 집적회로 칩 조정 방법에 있어서, 상기 조정 제어기가 상기 탐침 영역 및 상기 신호전송 영역을 통해 상기 집적회로 칩과 전기적으로 연결되는 단계;상기 조정 제어기가 조정값을 가변하여 제공하면서, 조정 완료값을 획득하는 단계;상기 조정 제어기가 상기 조정 완료값을 상기 집적회로 칩에 저장시키는 단계; 및상기 집적회로 칩이 저장된 상기 조정 완료값에 따라 동작을 수행하는 단계를 포함하고,상기 조정값 및 상기 조정 완료값은 상기 탐침 영역에 배치된 상기 탐침 단자들 및 상기 신호전송 영역에 배치된 상기 복수개의 신호라인들을 통하여 상기 조정 제어기로부터 상기 집적회로 칩으로 전송되는 집적회로 칩 조정 방법
17 17
제16항에 있어서, 상기 조정 완료값을 획득하는 단계는 상기 조정 제어기가 상기 조정값을 계산하여 상기 집적회로 칩에 제공하는 단계; 상기 집적회로 칩이 상기 조정값에 따라 동작을 수행한 후, 동작 결과값을 상기 조정 제어기로 출력하는 단계; 및상기 조정 제어기가 상기 동작 결과값을 분석하고, 상기 동작 결과값이 규격조건을 만족시키기 못하면 상기 조정값을 가변하여 상기 집적회로 칩에 다시 제공하고, 상기 동작 결과값이 상기 규격 조건을 만족시키면 그 때의 상기 조정값을 상기 조정 완료값으로 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 칩 조정 방법
18 18
제16항에 있어서, 상기 조정 완료값을 상기 집적회로 칩에 저장시키는 단계는상기 집적회로 칩에 구비된 1회 프로그래머블 메모리에 상기 조정 완료값을 저장시키는 것을 특징으로 하는 집적회로 칩 조정 방법
19 19
제16항에 있어서, 상기 조정값에 의해 상기 집적회로 칩 내부에서 사용되는 기준 바이어스 전압, 상기 집적회로 칩 내부에서 사용되는 클럭의 주파수 및 상기 집적회로 칩의 안테나의 중심 주파수 중 적어도 하나가 조정되는 것을 특징으로 하는 집적회로 칩 조정 방법
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1 지식경제부, 정보통신연구진흥원 한국전자통신연구원 IT성장동력기술개발 RFID/USN용 센서 태그 및 센서 노드 기술 개발