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정전용량형 환경유해가스 센서 및 그 제조방법

기술번호 : KST2015084952
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 정전용량형 환경유해가스 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 정전용량형 환경유해가스 센서는 절연기판; 상기 절연기판의 동일 평면 상에 일체형으로 형성된 금속전극 및 마이크로박막 히터 가열선; 및 상기 금속 전극 및 마이크로박막 히터 가열선 상에 코팅된 산화물 감지층을 포함하며, 이것은 금속층을 증착한 후, 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선이 서로 인터디지털 트랜스듀서를 이루도록 금속층을 식각하고, 이어서 산화물 감지층을 형성하는 것으로 제조된다. 이와 같은 정전용량형 환경유해가스 센서는 제조시 공정수월성을 확보할 수 있으며, 고감도, 고선택성, 고안정성 및 저전력의 우수한 특성을 가질 수 있다.센서, 정전용량형, 산화물
Int. CL	G01N 27/12 (2006.01) B28Y 15/00 (2011.01) B81B 7/02 (2006.01) G01N 27/22 (2006.01)
CPC	G01N 27/221(2013.01) G01N 27/221(2013.01) G01N 27/221(2013.01) G01N 27/221(2013.01) G01N 27/221(2013.01)
출원번호/일자	1020090025688 (2009.03.26)
출원인	한국전자통신연구원
등록번호/일자	10-1201896-0000 (2012.11.09)
공개번호/일자	10-2010-0063608 (2010.06.11) 문서열기
공고번호/일자	(20121116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보	대한민국 \| 1020080121625 \| 2008.12.03
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2009.03.26)
심사청구항수	10

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국전자통신연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	문제현	대한민국	대전광역시 유성구
2	이수재	대한민국	대전광역시 유성구
3	박진아	대한민국	경상남도 창원시 마산합포구
4	정태형	대한민국	대전광역시 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	신영무	대한민국	서울특별시 강남구 영동대로 **(대치동) KT&G타워 층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국전자통신연구원		대전광역시 유성구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2009.03.26	수리 (Accepted)	1-1-2009-0181429-31
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2009.08.04	수리 (Accepted)	4-1-2009-5150899-36
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2012.04.25	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2012.06.01	수리 (Accepted)	9-1-2012-0043236-70
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2012.06.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0346145-80
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2012.08.09	수리 (Accepted)	1-1-2012-0637279-90
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2012.08.09	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2012-0637291-38
8	등록결정서 Decision to grant	2012.10.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0658185-80
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.02.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-0006137-44

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 절연기판;상기 절연기판의 동일 평면 상에 일체형으로 형성된 금속전극 및 마이크로박막 히터 가열선; 및상기 금속 전극 및 마이크로박막 히터 가열선 상에 코팅되어 형성되고 p형 산화물 반도체와 n형 산화물 반도체가 혼합된 나노 결정의 복합 산화물 박막 또는 복합 산화물 나노 섬유로 구성된 산화물 감지층을 포함하는 정전용량형 환경유해가스 센서
2	2 제 1항에 있어서,금속전극 및 마이크로박막 히터 가열선과 동일 평면 상에, 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선의 전기적 간섭으로 인한 전기적 신호의 왜곡을 방지하는 기능을 수행하는 전기신호 필터링 회로를 더 포함하는 것인 정전용량형 환경유해가스 센서
3	3 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 절연기판은 산화물, 세라믹 및 절연층이 도포된 실리콘 기판 또는 유리기판으로 이루어진 군에서 선택된 것인 정전용량형 환경유해가스 센서
4	4 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선은 2단자 구조의 인터디지털 트랜스듀서 형태인 정전용량형 환경유해가스 센서
5	5 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선은 Pt, Ni, W, Ti 및 Cr으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것인 정전용량형 환경유해가스 센서
6	6 삭제
7	7 제 1항에 있어서
8	8 절연 기판 상에 금속층을 증착하는 단계;상기 절연 기판의 동일 평면 상에 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선이 서로 인터디지털 트랜스듀서를 이루도록 일체형으로 금속층을 식각하는 단계; 및상기 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선 상에 감지층으로 나노 결정 복합 산화물 박막 또는 복합 산화물 나노 섬유 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 정전용량형 환경유해가스 센서의 제조방법
9	9 제 8항에 있어서,상기 금속층을 식각하는 단계는 동일 평면 상에 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선 이외에 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선의 전기적 간섭으로 인한 전기적 신호의 왜곡을 방지하는 기능을 수행하는 전기신호 필터링 회로가 더 포함되도록 식각되는 것인 정전용량형 환경유해가스 센서의 제조방법
10	10 제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 나노 결정 복합 산화물 박막은 스퍼터링법, 펄스레이저 증착법, e-빔 증착법, 졸-겔법 및 스프레이법으로 이루어진 군에서 선택된 방법으로 10 내지 1000nm의 두께 범위로 형성되는 것인 정전용량형 환경유해가스 센서의 제조방법
11	11 제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 복합 산화물 나노 섬유 코팅층은 전기방사법으로 형성되며, 여기서 나노섬유의 직경은 10nm 내지 100nm인 정전용량형 환경유해가스 센서의 제조방법

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	JP22133926	JP	일본	FAMILY
2	US07816681	US	미국	FAMILY
3	US20100133528	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	JP2010133926	JP	일본	DOCDBFAMILY
2	US2010133528	US	미국	DOCDBFAMILY
3	US7816681	US	미국	DOCDBFAMILY

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데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
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특허 등록번호	10-1201896-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20090326 출원 번호 : 1020090025688 공고 연월일 : 20121116 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20121031 청구범위의 항수 : 10 유별 : G01N 27/22 발명의 명칭 : 정전용량형 환경유해가스 센서 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	217,500 원	2012년 11월 12일	납입
제 4 년분	금 액	182,000 원	2015년 10월 28일	납입
제 5 년분	금 액	182,000 원	2016년 10월 27일	납입
제 6 년분	금 액	182,000 원	2017년 10월 27일	납입
제 7 년분	금 액	240,000 원	2018년 10월 25일	납입
제 8 년분	금 액	240,000 원	2019년 10월 28일	납입
제 9 년분	금 액	480,000 원	2020년 11월 02일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2009.03.26	수리 (Accepted)	1-1-2009-0181429-31
2	출원인정보변경(경정)신고서	2009.08.04	수리 (Accepted)	4-1-2009-5150899-36
3	선행기술조사의뢰서	2012.04.25	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서	2012.06.01	수리 (Accepted)	9-1-2012-0043236-70
5	의견제출통지서	2012.06.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0346145-80
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2012.08.09	수리 (Accepted)	1-1-2012-0637279-90
7	[명세서등 보정]보정서	2012.08.09	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2012-0637291-38
8	등록결정서	2012.10.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0658185-80
9	출원인정보변경(경정)신고서	2015.02.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-0006137-44


과제고유번호	1355051976
세부과제번호	07ZB1200
연구과제명	정보통신미래신기술연구사업
성과구분	등록
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	과학기술부
연구주관기관명	한국전자통신연구원
성과제출연도	2007
연구기간	200701~200712
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

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